Còmhdach ianinneal a thàinig bhon teòiridh a mhol DM Mattox anns na 1960n, agus thòisich deuchainnean co-fhreagarrach aig an àm sin;Gu ruige 1971, dh'fhoillsich Chambers agus feadhainn eile an teicneòlas airson plating ian beam dealanach;Chaidh an teicneòlas reactive evaporation plating (ARE) a chomharrachadh ann an aithisg Bunshah ann an 1972, nuair a chaidh seòrsaichean film fìor-chruaidh leithid TiC agus TiN a thoirt gu buil;Cuideachd ann an 1972, ghabh Mac a’ Ghobhainn agus Molley an teicneòlas catod falamh sa phròiseas còmhdachaidh.Ro na 1980n, bha an ian plating ann an Sìona mu dheireadh air an ìre de chleachdadh gnìomhachais a ruighinn, agus bha na pròiseasan còmhdaich leithid plating ian ioma-arc falamh agus plating ian arc-sgaoilidh air nochdadh an dèidh a chèile.
Tha am pròiseas obrach iomlan airson plating ian falamh mar a leanas: an toiseach,pumpaan seòmar falamh, agus an uairsinfanaibhan cuideam falamh gu 4X10 ⁻ ³ Pano nas fheàrr, feumar an solar cumhachd bholtachd àrd a cheangal agus raon plasma teòthachd ìosal de ghas sgaoilidh bholtachd ìosal a thogail eadar an substrate agus an evaporator.Ceangail an dealan substrate le bholtadh àrd àicheil 5000V DC gus sgaoileadh glow den chatod a chruthachadh.Bidh ionsan gas inert air an gineadh faisg air an raon glow àicheil.Bidh iad a 'dol a-steach don raon dorcha catod agus bidh iad air an luathachadh leis an raon dealain agus a' bualadh air uachdar an t-substrate.Is e pròiseas glanaidh a tha seo, agus an uairsin cuir a-steach don phròiseas còmhdachaidh.Tro bhuaidh teasachadh spreadhaidh, thèid cuid de stuthan plating a ghluasad.Bidh an raon plasma a 'dol a-steach do na protonaichean, a' bualadh le dealanan agus ionsan gas inert, agus tha pàirt bheag dhiubh air an ionachadh, Bidh na h-ianan ionnaidh seo le lùth àrd a 'toirt ionnsaigh air uachdar an fhilm agus a' leasachadh càileachd film gu ìre.
Is e prionnsapal plating ian falamh: anns an t-seòmar falamh, a’ cleachdadh an t-iongantas sgaoilidh gas no am pàirt ionaichte den stuth vaporized, fo bhomadh ianan stuthan vaporized no ian gas, cuir na stuthan vaporized sin no an luchd-freagairt aca air an t-substrate aig an aon àm. gus film tana fhaighinn.An còmhdach ioninneala ’cothlamadh falmhachadh falamh, teicneòlas plasma agus sgaoileadh glaodh gas, a tha chan ann a-mhàin a’ leasachadh càileachd film, ach cuideachd a ’leudachadh raon tagraidh an fhilm.Is e buannachdan a’ phròiseis seo eadar-dhealachadh làidir, deagh ghreamachadh film, agus diofar stuthan còmhdaich.Chaidh am prionnsapal plating ion a mholadh an toiseach le DM Mattox.Tha iomadh seòrsa de ian plating ann.Is e an seòrsa as cumanta teasachadh falmhachaidh, a’ toirt a-steach teasachadh an aghaidh, teasachadh beam dealanach, teasachadh beam dealanach plasma, teasachadh inntrigidh àrd-tricead agus dòighean teasachaidh eile.
Ùine puist: 14-14-2023