Teicneòlas tasgaidh le taic beam ian

Gu dearbh, tha teicneòlas tasgaidh le taic beam Ion na theicneòlas measgaichte.Is e dòigh làimhseachaidh ian uachdar ioma-fhillte a th’ ann a tha a’ cothlamadh cuir a-steach ian agus teicneòlas film tasgadh bhalbhaichean corporra, agus seòrsa ùr de dhòigh optimization uachdar beam ian.A bharrachd air na buannachdan bho thasgadh bhalbhaichean corporra, faodaidh an dòigh seo fàs gu leantainneach air film tiugh sam bith fo chumhachan smachd nas cruaidhe, ag adhartachadh criostalachd agus stiùireadh còmhdach film nas motha, ag àrdachadh neart adhesion còmhdach film / substrate, ag adhartachadh dùmhlachd. den t-sreath film, agus co-chur filmichean toinnte le co-mheasan stoichiometric air leth freagarrach aig teòthachd faisg air an t-seòmar, a’ toirt a-steach seòrsaichean ùra de fhilmichean nach fhaighear aig teòthachd is cuideam an t-seòmair.Chan e a-mhàin gu bheil tasgadh le taic beam ian a ’gleidheadh ​​​​buannachdan a’ phròiseas cuir a-steach ian, ach faodaidh e cuideachd an t-substrate a chòmhdach le film gu tur eadar-dhealaichte bhon t-substrate.
Anns a h-uile seòrsa de thasgadh bhalbhaichean corporra agus tasgadh bhalbhaichean ceimigeach, faodar seata de ghunnaichean ian bomaidh cuideachail a chuir ris gus siostam IBAD a chruthachadh, agus tha dà phròiseas IBAD coitcheann mar a leanas, mar a chithear san Pic:

Mar a chithear ann am Pic (a), thathas a’ cleachdadh stòr gluasaid giùlan dealanach gus an còmhdach film irradachadh leis an t-seam ian a thèid a leigeil a-mach bhon ghunna ian, agus mar sin a’ toirt a-mach tasgadh le taic beam ian.Is e a ’bhuannachd a th’ ann gum faodar lùth agus stiùireadh beam ian atharrachadh, ach chan urrainnear ach aon alloy no cuibhrichte, no todhar a chleachdadh mar stòr falmhachaidh, agus tha cuideam gach vapor den cho-phàirt alloy agus todhar eadar-dhealaichte, a tha ga dhèanamh duilich gus an ìre film fhaighinn den cho-dhèanamh tùs evaporation tùsail.
Tha Pic (b) a’ sealltainn an tasgadh le taic sputtering beam ian, ris an canar cuideachd tasgadh sputtering beam ian dùbailte, anns a bheil an targaid air a dhèanamh de stuth còmhdach sputtering beam ian, na toraidhean sputtering air a chleachdadh mar an stòr.Fhad ‘s a tha e ga thasgadh air an t-substrate, thathas a’ coileanadh tasgadh le taic sputtering beam ian le irradachadh le stòr ian eile.Is e buannachd an dòigh seo gu bheil lùth sònraichte aig na gràinean sputtered fhèin, agus mar sin tha gèilleadh nas fheàrr leis an t-substrate;faodaidh pàirt sam bith den targaid a bhith air a chòmhdach le sputtered, ach faodaidh e cuideachd a bhith na sputtering freagairt a-steach don fhilm, furasta atharrachadh a dhèanamh air co-dhèanamh an fhilm, ach tha an èifeachdas tasgaidh ìosal, tha an targaid daor agus tha duilgheadasan ann leithid sputtering roghnach.