Faodaidh uidheamachd còmhdach co-dhèanta de sputtering magnetron agus còmhdach ian ioma-arc cathodic obrachadh air leth agus aig an aon àm;faodar film meatailt fìor-ghlan, film meatailt meatailt no film co-dhèanta a thasgadh agus ullachadh;faodaidh e a bhith na aon shreath de fhilm agus film ioma-fhilleadh ioma-fhillte.
Tha na buannachdan aige mar a leanas:
Chan e a-mhàin gu bheil e a’ cothlamadh buannachdan diofar chòtaichean ian agus a ’toirt aire do ullachadh agus tasgadh film tana airson diofar raointean tagraidh, ach tha e cuideachd a’ ceadachadh tasgadh agus ullachadh filmichean monolithic ioma-fhilleadh no filmichean ioma-fhilleadh ioma-fhillte san aon àite falamh. seòmar còmhdach aig aon àm.
Tha cleachdadh fillidhean film tasgaidh air an cleachdadh gu farsaing tha na teicneòlasan aige ann an grunn chruthan, an fheadhainn àbhaisteach mar a leanas:
(1) An cothlamadh de sputtering magnetron neo-chothromach agus teicneòlas plating ian cathodic.
Tha an inneal aige air a thaisbeanadh mar a leanas.Is e uidheamachd còmhdach iom-fhillte a th ’ann de thargaid magnetron colbh agus còmhdach ian arc cathodic planar, a tha freagarrach airson an dà chuid film còmhdach inneal agus còmhdach film sgeadachaidh.Airson còmhdach innealan, thathas a ’cleachdadh an còmhdach ian arc cathodic an-toiseach airson a’ chòmhdach còmhdach bonn, agus an uairsin thathas a ’cleachdadh targaid magnetron colbh airson tasgadh nitride agus sreathan film eile gus film uachdar inneal giullachd àrd-chruinneas fhaighinn.
Airson còmhdach sgeadachaidh, faodar filmichean sgeadachaidh TiN agus ZrN a thasgadh le còmhdach arc cathodic an toiseach, agus an uairsin a chòmhdach le meatailt a ’cleachdadh targaidean magnetron, agus tha a’ bhuaidh dopaidh fìor mhath.
(2) An cothlamadh de magnetron plèana càraid agus dòighean còmhdach ian arc catod colbh.Tha an inneal air a thaisbeanadh mar a leanas.Tha e air a chleachdadh leis an teicneòlas targaid càraid adhartach, nuair a tha dà thargaid càraid taobh-ri-taobh ceangailte ris an t-solar cumhachd tricead meadhanach, chan e a-mhàin gu bheil e a’ faighinn thairis air puinnseanachadh targaid DC sputtering, teine agus eas-bhuannachdan eile;agus is urrainn dhaibh film càileachd Al203, SiO2 oxide a thasgadh, gus am bi an aghaidh oxidation nam pàirtean còmhdaichte air a dhol am meud agus air a leasachadh.Targaid ioma-arc colbh air a chuir a-steach ann am meadhan an t-seòmar falamh, faodar an stuth targaid a chleachdadh Ti agus Zr, chan ann a-mhàin gus na buannachdan bho ìre dissociation ioma-arc àrd, ìre tasgaidh a chumail suas, ach faodaidh iad cuideachd “dronaidean” a lughdachadh gu h-èifeachdach. faodaidh pròiseas tasgadh targaid ioma-arc plèana beag, tasgadh agus ullachadh porosity ìosal de fhilmichean meatailt, filmichean toinnte.Ma thèid Al agus Si a chleachdadh mar na stuthan targaid airson na targaidean magnetron càraid planar a chaidh a chuir a-steach aig an iomall, faodar filmichean meatailt-ceirmeach Al203 no Si0 a thasgadh agus ullachadh.A bharrachd air an sin, faodar grunn phlèanaichean beaga de stòr falmhachaidh ioma-arc a chuir a-steach air an iomall, agus faodaidh an stuth targaid a bhith Cr no Ni, agus faodar filmichean meatailt agus filmichean ioma-fhilleadh a thasgadh agus ullachadh.Mar sin, tha an teicneòlas còmhdach co-mheasgaichte seo na theicneòlas còmhdach co-dhèanta le grunn thagraidhean.
Ùine puist: Samhain-08-2022