O equipo adopta unha estrutura vertical da porta dianteira e un esquema de agrupación.Pode estar equipado con fontes de evaporación para metais e diversos materiais orgánicos, e pode evaporar obleas de silicio de varias especificacións.Equipado cun sistema de aliñamento de precisión, o revestimento é estable e o revestimento ten boa repetibilidade.
O equipo de revestimento GX600 pode evaporar de forma precisa, uniforme e controlable materiais orgánicos emisores de luz ou materiais metálicos sobre o substrato.Ten as vantaxes dunha simple formación de película, alta pureza e alta compacidade.O sistema de monitorización en tempo real do espesor da película totalmente automático pode garantir a repetibilidade e estabilidade do proceso.Está equipado cunha función de autofusión para reducir a dependencia das habilidades do operador.
O equipo pódese aplicar a Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti e outros materiais metálicos, e pódese recubrir con película metálica, película de capa dieléctrica, película IMD, etc. Úsase principalmente no semicondutor. industria, como dispositivos de enerxía, revestimento de substrato de embalaxe traseiro de semicondutores, etc.
GX600 | GX900 |
φ600*800 (mm) | φ900*H1050(mm) |