HFCVD0606

A cámara de revestimento ao baleiro do equipo de deposición de vapor químico adopta unha estrutura independente de refrixeración por auga de dobre capa, que é eficiente e uniforme no arrefriamento e ten unha estrutura segura e estable.O equipo está deseñado con portas dobres, múltiples fiestras de observación e múltiples interfaces de expansión, o que é conveniente para a conexión externa de periféricos auxiliares, como a medición de temperatura infravermella, a análise espectral, o seguimento de vídeo e a termopar.O concepto de deseño avanzado fai que a revisión e mantemento diarios, o cambio de configuración e a actualización do equipo sexan sinxelos e sinxelos, e reduce eficazmente os custos de uso e actualización.

Características do equipamento:

1.Os compoñentes de inflado do equipo inclúen principalmente un medidor de fluxo másico, unha válvula solenoide e un tanque de mestura de gas, que garanten o control preciso do fluxo de gas de proceso, a mestura uniforme e o illamento seguro de diferentes gases e poden seleccionar compoñentes do sistema de gas para o seu uso. fonte de gas líquido, facilita a selección personalizada dunha ampla gama de fontes de carbono líquido e o uso seguro de fontes de boro líquido de electrodos e diamantes condutores sintéticos.
2.O conxunto de extracción de aire está equipado cunha bomba de baleiro de paletas rotativas silenciosa e eficiente e un sistema de bombas moleculares turbo que pode satisfacer rapidamente o ambiente de fondo de alto baleiro.O medidor de baleiro composto con medidor de resistencia e medidor de ionización úsase para medir o baleiro, así como o sistema de medidor de película capacitiva que pode medir a presión de diferentes gases de proceso nunha ampla gama.A presión de deposición é totalmente automática controlada por unha válvula de control proporcional de alta precisión.
3.O compoñente de auga de refrixeración está equipado con presión de auga multicanle, caudal, medición de temperatura e seguimento automático de software.Os diferentes compoñentes de refrixeración son independentes entre si, o que é conveniente para un diagnóstico rápido de avarías.Todas as ramas teñen interruptores de válvula independentes, o que é seguro e eficiente.
4.Os compoñentes de control eléctrico adoptan unha pantalla LCD de interface home-máquina de gran tamaño e cooperan co control totalmente automático do PLC para facilitar a edición e importación da fórmula do proceso.A curva gráfica mostra visualmente os cambios e os valores de varios parámetros, e os parámetros do equipo e do proceso son rexistrados e arquivados automaticamente para facilitar o rastrexo de problemas e a análise estatística dos datos.
5.O bastidor de pezas está equipado cun servomotor para controlar a elevación e a baixada da táboa de substrato.Pódese seleccionar a táboa de substrato de grafito ou cobre vermello.A temperatura mídese mediante un termopar.
6.Os compoñentes do rack poden deseñarse como un todo ou por separado segundo os requisitos do cliente para satisfacer os requisitos especiais de manipulación dos clientes.
7.Os compoñentes da placa de selado son fermosos e elegantes.As placas de selado en diferentes áreas de módulos funcionais do equipo pódense desmontar ou abrir e pechar rapidamente de forma independente, o que é moi cómodo de usar.

O equipo CVD de filamento quente é axeitado para depositar materiais de diamante, incluíndo revestimento de película fina, película grosa autosuportante, diamante microcristalino e nanocristalino, diamante condutor, etc. Úsase principalmente para o revestimento protector resistente ao desgaste de ferramentas de corte de carburo cementado, materiais semicondutores. como silicio e carburo de silicio, revestimento de disipación de calor de dispositivos, electrodo de diamante condutor dopado con boro, desinfección por ozono de auga electrolítica ou tratamento de augas residuais.