Introdución ás técnicas convencionais de deposición de revestimentos duros

1. Tecnoloxía CVD térmica

Os revestimentos duros son principalmente revestimentos metálicos cerámicos (TiN, etc.), que se forman pola reacción do metal no revestimento e a gasificación reactiva.Nun primeiro momento, utilizouse a tecnoloxía CVD térmica para proporcionar a enerxía de activación da reacción combinada mediante enerxía térmica a unha temperatura elevada de 1000 ℃.Esta temperatura só é adecuada para depositar TiN e outros revestimentos duros en ferramentas de carburo cementado.Ata agora, aínda é unha tecnoloxía importante depositar revestimentos compostos de TiN-Al20 en cabezas de ferramentas de carburo cementado.

2. Revestimento de ión de cátodo oco e revestimento de ión de arco de fío quente

Na década de 1980, utilizáronse o revestimento de ións de cátodo oco e o revestimento de ión de arco de fío quente para depositar ferramentas de corte revestidas.Ambas tecnoloxías de revestimento iónico son tecnoloxías de revestimento iónico de descarga de arco, cunha taxa de ionización de metal de ata 20% ~ 40%.

3. Revestimento de ións de arco catódico

A aparición do revestimento de ións de arco catódico levou ao desenvolvemento da tecnoloxía de depósito de revestimentos duros en moldes.A taxa de ionización do revestimento de ións de arco catódico é do 60% ~ 90%, permitindo que un gran número de ións metálicos e ións de gas de reacción cheguen á superficie da peza de traballo e aínda manteñan unha alta actividade, o que resulta na deposición de reacción e formación de revestimentos duros como TiN.Na actualidade, a tecnoloxía de revestimento de ións de arco catódico úsase principalmente para depositar revestimentos duros en moldes.

A fonte de arco do cátodo é unha fonte de evaporación de estado sólido sen unha piscina fundida fixa, e a posición da fonte de arco pódese colocar arbitrariamente, mellorando a taxa de utilización do espazo da sala de revestimento e aumentando a capacidade de carga do forno.As formas das fontes de arco catódico inclúen fontes de arco catódico circular pequenas, fontes de arco columnar e fontes de arco grande rectangular plana.Diferentes compoñentes de fontes de arco pequeno, fontes de arco columnar e fontes de arco grandes pódense dispor por separado para depositar películas multicapa e nano películas multicapa.Mentres tanto, debido á alta taxa de ionización do metal do revestimento de ión de arco catódico, os ións metálicos poden absorber máis gases de reacción, o que resulta nun amplo rango de procesos e unha operación sinxela para obter excelentes revestimentos duros.Non obstante, hai gotículas grosas na microestrutura da capa de revestimento obtidas mediante o revestimento de ións de arco catódico.Nos últimos anos, xurdiron moitas novas tecnoloxías para refinar a estrutura da capa de película, o que mellorou a calidade da película de revestimento de ións de arco.

——Este artigo foi publicado por Guangdong Zhenhua Technology, afabricante de máquinas de revestimento óptico.