Proceso de polimerización directa por plasma
O proceso de polimerización por plasma é relativamente sinxelo tanto para equipos de polimerización de electrodos internos como para equipos de polimerización de electrodos externos, pero a selección de parámetros é máis importante na polimerización de plasma, porque os parámetros teñen un maior impacto na estrutura e o rendemento das películas de polímero durante a polimerización por plasma.
Os pasos da operación para a polimerización directa por plasma son os seguintes:
(1) Aspirar
O baleiro de fondo de polimerización en condicións de baleiro debe bombearse a 1,3 × 10-1 Pa.Para as reaccións de polimerización que requiren requisitos especiais para controlar o contido de osíxeno ou nitróxeno, o requisito de baleiro de fondo é aínda maior.
(2) Monómero de reacción de carga ou gas mesturado de gas portador e monómero
O grao de baleiro é de 13-130 Pa.Para a polimerización por plasma que requira traballo, seleccionarase o modo de control de fluxo e o caudal adecuados, xeralmente 10,100 ml/min.No plasma, as moléculas de monómero son ionizadas e disociadas polo bombardeo de partículas enerxéticas, dando lugar a partículas activas como ións e xenes activos.As partículas activas activadas polo plasma poden sufrir polimerización plasmática na interface da fase gaseosa e a fase sólida.O monómero é a fonte de precursor para a polimerización por plasma, e o gas de reacción de entrada e o monómero terán certa pureza.
(3) Selección da fonte de alimentación de excitación
O plasma pódese xerar usando fontes de enerxía de CC, alta frecuencia, RF ou microondas para proporcionar un ambiente de plasma para a polimerización.A selección da fonte de alimentación determínase en función dos requisitos para a estrutura e o rendemento do polímero.
(4) Selección do modo de descarga
Para os requisitos de polímero, a polimerización por plasma pode escoller dous modos de descarga: descarga continua ou descarga por pulsos.
(5) Selección de parámetros de descarga
Ao realizar a polimerización por plasma, os parámetros de descarga deben considerarse a partir dos parámetros do plasma, as propiedades do polímero e os requisitos de estrutura.A magnitude da potencia aplicada durante a polimerización está determinada polo volume da cámara de baleiro, o tamaño do electrodo, o caudal e estrutura do monómero, a taxa de polimerización e a estrutura e o rendemento do polímero.Por exemplo, se o volume da cámara de reacción é 1L e se adopta a polimerización por plasma RF, a potencia de descarga estará no rango de 10 ~ 30W.En tales condicións, o plasma xerado pode agregarse para formar unha fina película na superficie da peza.A taxa de crecemento da película de polimerización de plasma varía coa fonte de alimentación, o tipo de monómero e o caudal e as condicións do proceso.Xeralmente, a taxa de crecemento é de 100 nm/min ~ 1um/min.
(6) Medición de parámetros en polimerización por plasma
Os parámetros do plasma e os parámetros do proceso que se deben medir na polimerización por plasma inclúen: tensión de descarga, corrente de descarga, frecuencia de descarga, temperatura do electrón, densidade, tipo e concentración de grupo de reacción, etc.
——Este artigo foi publicado por Guangdong Zhenhua Technology, afabricante de máquinas de revestimento óptico.
Hora de publicación: maio-05-2023