Proceso de revestimento de ións de cátodo oco

O proceso de revestimento de ións de cátodo oco é o seguinte:

1、Poña os lingotes de queixo no colapso.

2, Montaxe da peza de traballo.

3、Despois de evacuar a 5×10-3Pa, introdúcese gas argón na cámara de revestimento desde o tubo de prata e o nivel de baleiro é duns 100Pa.

4、Activa o poder de polarización.

5 、 Despois de conectar a enerxía do arco para acender a descarga do cátodo oco. A descarga de brillo xérase no tubo do botón, a tensión de descarga é de 800 ~ 1000 V, a corrente de aumento do arco é de 30 ~ 50 A. Debido ao efecto do brillo do cátodo oco descarga, Alta densidade de corrente de descarga de brillo, A alta densidade de ións de rato no tubo de prata bombardea a parede do tubo de vantaxe, Fai que a parede do tubo se quente rapidamente ata a emisión de fluxo de electróns, o modo de descarga da descarga de brillo cambia bruscamente a descarga de arco, a tensión é de 40 ~ 70 V, a corrente é de 80 ~ 300 A. A temperatura do tubo de prata alcanza os 2300 K, incandescente, emite un fluxo de alta densidade de electróns de arco desde o tubo e dispara ao ánodo.

6, Axuste do nivel de baleiro. O nivel de baleiro para a descarga de brillo da pistola de cátodo oco é duns 100 Pa, e o grao de baleiro de revestimento é de 8 × 10-1 ~ 2 Pa. Polo tanto, despois do aceso da descarga do arco, reduce o argón entrante. gas canto antes, axuste o nivel de baleiro a un rango axeitado para o revestimento.

7, Capa base chapada en titanio. Fluxo de electróns sobre o lingote metálico de Chin colapsado anódicamente, Conversión de enerxía cinética en enerxía térmica, Evaporación do metal de Chin por quecemento, Os átomos de vapor chegan á peza para formar unha película de titanio.

8、Deposición de TiN.O gas nitróxeno é subministrado á cámara de revestimento, o gas nitróxeno e os átomos evaporados son ionizados en ións de nitróxeno e titanio. Por riba do crisol, maior probabilidade de colisións inelásticas de átomos de vapor de titanio con correntes densas de electróns de baixa enerxía, A taxa de disociación do metal é tan alta como 20% ~ 40%.,Os ións de titanio teñen máis probabilidades de reaccionar químicamente co nitróxeno do gas de reacción,Deposición para obter unha capa de película de manto de nitruro.A pistola de cátodo oco é unha fonte de vaporización, Outra fonte de ionización.Durante o revestimento,Tamén se debe axustar a corrente da bobina electromagnética ao redor do crisol,Focar o feixe de electróns no centro do colapso,Así, aumenta a densidade de potencia do fluxo de electróns.

9、Apagar. Despois de que o grosor da película alcance o grosor da película predeterminado, desactive a fonte de alimentación do arco, a fonte de alimentación polarizada e a subministración de aire.