A lei de crecemento da capa de película de revestimento por evaporación ao baleiro

Durante o revestimento de evaporación, a nucleación e o crecemento da capa de película son a base de varias tecnoloxías de revestimento iónico

1.Nucleación

Intecnoloxía de recubrimento por evaporación ao baleiroDespois de que as partículas da capa de película se evaporan da fonte de evaporación en forma de átomos, voan directamente á peza de traballo en baleiro alto e forman a capa de película por nucleación e crecemento na superficie da peza.Durante a evaporación ao baleiro, a enerxía dos átomos da capa de película que escapan da fonte de evaporación é duns 0,2 eV.Cando a cohesión entre as partículas da capa de película é maior que a forza de unión entre os átomos da capa de película e a peza de traballo, forma un núcleo de illa.Un átomo dunha soa capa de película permanece na superficie da peza durante todo o tempo facendo movemento irregular, difusión, migración ou colisión con outros átomos para formar cúmulos atómicos. O número de átomos do cúmulo atómico alcanza un determinado valor crítico, estable. fórmase núcleo, chamado núcleo de forma homoxénea.

suave, e contén moitos defectos e pasos, o que provoca a diferenza na forza de adsorción de diferentes partes da peza para os átomos radioactivos.A enerxía de adsorción da superficie do defecto é maior que a da superficie normal, polo que se converte no centro activo, o que favorece a nucleación preferente, chamada nucleación heteroxénea.Cando a forza de cohesión é igual á forza de unión, ou a forza de unión entre os átomos da membrana e a peza de traballo é maior que a forza de cohesión entre os átomos da membrana, fórmase a estrutura lamelar.Na tecnoloxía de recubrimento iónico, o núcleo da illa fórmase na maioría dos casos.

2.Crecemento

Unha vez que se forma o núcleo da película, segue crecendo atrapando os átomos incidentes. As illas medran e combínanse entre si para formar hemisferios máis grandes, formando gradualmente unha capa de illas hemisféricas que se estende pola superficie da peza.

Cando a enerxía atómica da capa de película é alta, pódese difundir suficientemente na superficie e pódese formar unha película continua suave cando os cúmulos atómicos entrantes posteriores son pequenos. Se a difusión dos átomos na superficie é débil e o tamaño de os cúmulos depositados son grandes, existen como grandes núcleos peninsulares.A parte superior do núcleo da illa ten un forte efecto de sombreado na parte cóncava, é dicir, o "efecto sombra". A proxección da superficie é máis propicia para capturar os átomos depositados posteriores. e un crecemento preferencial, resultando nun grao crecente de concavidade na superficie para formar cristais cónicos ou columnares de tamaño suficiente.Fórmanse ocos penetrantes entre os cristais cónicos e aumenta o valor da rugosidade da superficie. Pódese obter tecido fino a alto baleiro, coa diminución do grao de baleiro, a microestrutura da membrana faise cada vez máis espesa.