O proceso de revestimento iónico da fonte de arco catódico é basicamente o mesmo que outras tecnoloxías de revestimento, e algunhas operacións como a instalación de pezas de traballo e o aspirador xa non se repiten.
1.Limpeza de bombardeo de pezas
Antes do revestimento, introdúcese gas argón na cámara de revestimento cun baleiro de 2 × 10-2 Pa.
Acende a fonte de alimentación de polarización de pulso, cun ciclo de traballo do 20 % e unha polarización da peza de traballo de 800-1000 V.
Cando se conecta a enerxía do arco, xérase unha descarga de luz de arco de campo frío, que emite unha gran cantidade de corrente de electróns e corrente de ións de titanio desde a fonte de arco, formando un plasma de alta densidade.O ión de titanio acelera a súa inxección na peza de traballo baixo a alta presión negativa aplicada á peza de traballo, bombardeando e pulverizando o gas residual e os contaminantes adsorbidos na superficie da peza, e limpando e purificando a superficie da peza;Ao mesmo tempo, o gas de cloro da cámara de revestimento é ionizado polos electróns e os ións de argón aceleran o bombardeo da superficie da peza.
Polo tanto, o efecto de limpeza do bombardeo é bo.Só aproximadamente 1 minuto de limpeza por bombardeo pode limpar a peza de traballo, o que se denomina "bombardeo do arco principal".Debido á gran masa de ións de titanio, se se usa unha pequena fonte de arco para bombardear e limpar a peza de traballo durante moito tempo, a temperatura da peza é propensa a sobreenriquecerse e o bordo da ferramenta pode volverse brando.Na produción xeral, as fontes de arco pequeno encéndense unha a unha de arriba a abaixo e cada fonte de arco pequeno ten un tempo de limpeza de bombardeo de aproximadamente 1 minuto.
(1) Capa inferior de revestimento de titanio
Para mellorar a adhesión entre a película e o substrato, adoita recubrirse unha capa de substrato de titanio puro antes de revestir o nitruro de titanio.Axuste o nivel de baleiro a 5 × 10-2-3 × 10-1Pa, axuste a tensión de polarización da peza de traballo a 400-500 V e axuste o ciclo de traballo da fonte de alimentación de polarización de pulso ao 40% ~ 50%.Aínda acendendo pequenas fontes de arco unha a unha para xerar descarga de arco de campo frío.Debido á diminución da tensión de polarización negativa da peza, a enerxía dos ións de titanio diminúe.Despois de chegar á peza de traballo, o efecto de pulverización catódica é menor que o efecto de deposición e fórmase unha capa de transición de titanio na peza de traballo para mellorar a forza de unión entre a capa de película dura de nitruro de titanio e o substrato.Este proceso tamén é o proceso de quentar a peza de traballo.Cando se descarga o obxectivo de titanio puro, a luz do plasma é azul celeste.
1.Revestimento de película dura cunca amoniacada
Axuste o grao de baleiro a 3×10-1-5Pa, axuste a tensión de polarización da peza de traballo a 100-200 V e axuste o ciclo de traballo da fonte de alimentación de polarización de pulso ao 70% ~ 80%.Despois de introducir nitróxeno, o titanio é unha reacción combinada co plasma de descarga de arco para depositar unha película dura de nitruro de titanio.Neste punto, a luz do plasma na cámara de baleiro é vermella cereixa.Se C2H2, O2introdúcense, etc., TiCN, TiO2, etc. pódense obter capas de película.
–Este artigo foi publicado por Guangdong Zhenhua, afabricante de máquinas de revestimento ao baleiro
Hora de publicación: 01-Xun-2023