Esta serie de equipos usa obxectivos de magnetrón para converter materiais de revestimento en partículas de tamaño nanométrico, que se depositan na superficie dos substratos para formar películas finas.A película enrolada colócase na cámara de baleiro.A través da estrutura de enrolamento accionada eléctricamente, un extremo recibe a película e o outro pon a película.Continúa atravesando a zona obxectivo e recibe as partículas obxectivo para formar unha película densa.
Característica:
1. Formación de película a baixa temperatura.A temperatura ten pouco efecto sobre a película e non producirá deformación.É adecuado para películas de bobina de PET, PI e outros materiais de base.
2. O grosor da película pódese deseñar.Os revestimentos finos ou grosos pódense deseñar e depositar mediante o axuste do proceso.
3. Deseño de localización de destino múltiple, proceso flexible.Toda a máquina pode estar equipada con oito obxectivos, que se poden usar como obxectivos metálicos simples ou obxectivos compostos e de óxido.Pódese usar para preparar películas dunha soa capa con estrutura única ou películas multicapa con estrutura composta.O proceso é moi flexible.
O equipo pode preparar película de blindaxe electromagnética, revestimento de placa de circuíto flexible, varias películas dieléctricas, película antirreflectante AR multicapa, película antirreflectante HR alta, película en cor, etc. o equipo ten unha ampla gama de aplicacións e deposición de película dunha soa capa. pódese completar mediante unha deposición de película única.
O equipo pode adoptar obxectivos metálicos sinxelos como Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, etc., ou obxectivos compostos como SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, etc.
O equipo ten un tamaño pequeno, un deseño de estrutura compacto, unha superficie pequena, un baixo consumo de enerxía e un axuste flexible.É moi axeitado para a investigación e desenvolvemento de procesos ou para a produción en masa de pequenos lotes.