રાસાયણિક વરાળ ડિપોઝિશન ઇક્વિપમેન્ટની વેક્યૂમ કોટિંગ ચેમ્બર સ્વતંત્ર ડબલ-લેયર વોટર-કૂલિંગ સ્ટ્રક્ચર અપનાવે છે, જે ઠંડકમાં કાર્યક્ષમ અને એકસમાન છે, અને સુરક્ષિત અને સ્થિર માળખું ધરાવે છે.સાધનસામગ્રી ડબલ દરવાજા, બહુવિધ અવલોકન વિન્ડો અને બહુવિધ વિસ્તરણ ઇન્ટરફેસ સાથે ડિઝાઇન કરવામાં આવી છે, જે ઇન્ફ્રારેડ તાપમાન માપન, સ્પેક્ટ્રલ વિશ્લેષણ, વિડિયો મોનિટરિંગ અને થર્મોકોલ જેવા સહાયક પેરિફેરલ્સના બાહ્ય જોડાણ માટે અનુકૂળ છે.અદ્યતન ડિઝાઇન કોન્સેપ્ટ દૈનિક ઓવરહોલ અને જાળવણી, રૂપરેખાંકન ફેરફાર અને સાધનોના અપગ્રેડને સરળ અને સરળ બનાવે છે અને ઉપયોગ અને અપગ્રેડ ખર્ચને અસરકારક રીતે ઘટાડે છે.
સાધન સુવિધાઓ:
1. સાધનસામગ્રીના ફુગાવાના ઘટકોમાં મુખ્યત્વે માસ ફ્લો મીટર, સોલેનોઇડ વાલ્વ અને ગેસ મિશ્રણ ટાંકીનો સમાવેશ થાય છે, જે પ્રક્રિયા ગેસ પ્રવાહ, સમાન મિશ્રણ અને વિવિધ વાયુઓના સુરક્ષિત અલગતાના ચોક્કસ નિયંત્રણને સુનિશ્ચિત કરે છે અને ગેસ સિસ્ટમના ઘટકોને પસંદ કરી શકે છે. લિક્વિડ ગેસ સ્ત્રોત, લિક્વિડ કાર્બન સ્ત્રોતોની વિશાળ શ્રેણીની વ્યક્તિગત પસંદગી અને કૃત્રિમ વાહક ડાયમંડ અને ઇલેક્ટ્રોડ લિક્વિડ બોરોન સ્ત્રોતોના સલામત ઉપયોગની સુવિધા આપે છે.
2. હવા નિષ્કર્ષણ એસેમ્બલી શાંત અને કાર્યક્ષમ રોટરી વેન વેક્યૂમ પંપ અને ટર્બો મોલેક્યુલર પંપ સિસ્ટમથી સજ્જ છે જે ઉચ્ચ વેક્યૂમ પૃષ્ઠભૂમિ વાતાવરણને ઝડપથી પહોંચી શકે છે.રેઝિસ્ટન્સ ગેજ અને આયનાઇઝેશન ગેજ સાથેના સંયુક્ત વેક્યુમ ગેજનો ઉપયોગ શૂન્યાવકાશ માપન માટે થાય છે, તેમજ કેપેસિટીવ ફિલ્મ ગેજ સિસ્ટમનો ઉપયોગ થાય છે જે વિશાળ શ્રેણીમાં વિવિધ પ્રક્રિયા વાયુઓના દબાણને માપી શકે છે.ડિપોઝિશન દબાણ ઉચ્ચ-ચોકસાઇ પ્રમાણસર નિયંત્રણ વાલ્વ દ્વારા સંપૂર્ણપણે સ્વચાલિત નિયંત્રિત છે.
3. કૂલિંગ વોટર કમ્પોનન્ટ મલ્ટી-ચેનલ વોટર પ્રેશર, ફ્લો, તાપમાન માપન અને સોફ્ટવેર ઓટોમેટિક મોનિટરિંગથી સજ્જ છે.વિવિધ ઠંડક ઘટકો એકબીજાથી સ્વતંત્ર છે, જે ઝડપી ખામી નિદાન માટે અનુકૂળ છે.બધી શાખાઓમાં સ્વતંત્ર વાલ્વ સ્વીચો છે, જે સલામત અને કાર્યક્ષમ છે.
4. વિદ્યુત નિયંત્રણ ઘટકો મોટા કદના મેન-મશીન ઇન્ટરફેસ એલસીડી સ્ક્રીનને અપનાવે છે અને પ્રક્રિયા ફોર્મ્યુલાના સંપાદન અને આયાતને સરળ બનાવવા માટે PLC પૂર્ણ-સ્વચાલિત નિયંત્રણ સાથે સહકાર આપે છે.ગ્રાફિકલ વળાંક વિવિધ પરિમાણોના ફેરફારો અને મૂલ્યોને દૃષ્ટિની રીતે પ્રદર્શિત કરે છે, અને સાધનસામગ્રી અને પ્રક્રિયા પરિમાણો આપમેળે રેકોર્ડ કરવામાં આવે છે અને સમસ્યા ટ્રેસિંગ અને ડેટા આંકડાકીય વિશ્લેષણની સુવિધા માટે આર્કાઇવ કરવામાં આવે છે.
5. સબસ્ટ્રેટ ટેબલના લિફ્ટિંગ અને લોઅરિંગને નિયંત્રિત કરવા માટે વર્કપીસ રેક સર્વો મોટરથી સજ્જ છે.ગ્રેફાઇટ અથવા લાલ કોપર સબસ્ટ્રેટ ટેબલ પસંદ કરી શકાય છે.તાપમાન થર્મોકોલ દ્વારા માપવામાં આવે છે.
6. ગ્રાહકોની ખાસ હેન્ડલિંગ આવશ્યકતાઓને પહોંચી વળવા ગ્રાહકની જરૂરિયાતો અનુસાર રેક ઘટકોને સંપૂર્ણ અથવા અલગથી ડિઝાઇન કરી શકાય છે.
7. સીલિંગ પ્લેટના ઘટકો સુંદર અને ભવ્ય છે.સાધનસામગ્રીના વિવિધ કાર્યાત્મક મોડ્યુલ વિસ્તારોમાં સીલિંગ પ્લેટોને ઝડપથી ડિસએસેમ્બલ અથવા ખોલી અને સ્વતંત્ર રીતે બંધ કરી શકાય છે, જે વાપરવા માટે ખૂબ અનુકૂળ છે.
ગરમ ફિલામેન્ટ સીવીડી સાધનો હીરાની સામગ્રી જમા કરવા માટે યોગ્ય છે, જેમાં પાતળી ફિલ્મ કોટિંગ, સ્વ-સહાયક જાડી ફિલ્મ, માઇક્રોક્રિસ્ટલાઇન અને નેનોક્રિસ્ટલાઇન ડાયમંડ, વાહક હીરા વગેરેનો સમાવેશ થાય છે. તે મુખ્યત્વે સિમેન્ટેડ કાર્બાઇડ કટીંગ ટૂલ્સ, સેમિકન્ડક્ટર સામગ્રીના વસ્ત્રો-પ્રતિરોધક રક્ષણાત્મક કોટિંગ માટે વપરાય છે. જેમ કે સિલિકોન અને સિલિકોન કાર્બાઈડ, ઉપકરણોનું હીટ ડિસીપેશન કોટિંગ, બોરોન ડોપ્ડ વાહક ડાયમંડ ઈલેક્ટ્રોડ, ઈલેક્ટ્રોલિટીક વોટરનું ઓઝોન ડિસઈન્ફેક્શન અથવા સીવેજ ટ્રીટમેન્ટ.
વૈકલ્પિક મોડેલો | આંતરિક ચેમ્બરનું કદ |
HFCVD0606 | φ600*H600(mm) |