① સારી નિયંત્રણક્ષમતા અને ફિલ્મની જાડાઈની પુનરાવર્તિતતા
ફિલ્મની જાડાઈને પૂર્વનિર્ધારિત મૂલ્ય પર નિયંત્રિત કરી શકાય છે કે કેમ તે ફિલ્મ જાડાઈ નિયંત્રણક્ષમતા કહેવાય છે.જરૂરી ફિલ્મ જાડાઈ ઘણી વખત પુનરાવર્તિત થઈ શકે છે, જેને ફિલ્મ જાડાઈ પુનરાવર્તિતતા કહેવામાં આવે છે. કારણ કે વેક્યૂમ સ્પટરિંગ કોટિંગના ડિસ્ચાર્જ વર્તમાન અને લક્ષ્ય પ્રવાહને અલગથી નિયંત્રિત કરી શકાય છે.તેથી, સ્પુટર્ડ ફિલ્મની જાડાઈ નિયંત્રણક્ષમ છે, અને પૂર્વનિર્ધારિત જાડાઈવાળી ફિલ્મ વિશ્વસનીય રીતે જમા કરી શકાય છે.વધુમાં, સ્પુટર કોટિંગ મોટી સપાટી પર સમાન જાડાઈ સાથે ફિલ્મ મેળવી શકે છે.
② ફિલ્મ અને સબસ્ટ્રેટ વચ્ચે મજબૂત સંલગ્નતા
સ્પુટર્ડ અણુઓની ઉર્જા બાષ્પીભવન થયેલા અણુઓ કરતા 1-2 ઓર્ડરની તીવ્રતા વધારે છે.સબસ્ટ્રેટ પર જમા થયેલ ઉચ્ચ-ઊર્જાવાળા સ્પુટર્ડ અણુઓનું ઉર્જા રૂપાંતરણ બાષ્પીભવન થયેલા અણુઓ કરતા ઘણું વધારે છે, જે ઉચ્ચ ગરમી ઉત્પન્ન કરે છે અને સ્પુટર્ડ અણુઓ અને સબસ્ટ્રેટ વચ્ચે સંલગ્નતાને વધારે છે.વધુમાં, કેટલાક ઉચ્ચ-ઊર્જાવાળા સ્પુટર્ડ અણુઓ ઇન્જેક્શનની વિવિધ ડિગ્રી ઉત્પન્ન કરે છે, જે સબસ્ટ્રેટ પર સ્યુડોડિફ્યુઝન સ્તર બનાવે છે.વધુમાં, ફિલ્મ નિર્માણ પ્રક્રિયા દરમિયાન પ્લાઝ્મા પ્રદેશમાં સબસ્ટ્રેટ હંમેશા સાફ અને સક્રિય થાય છે, જે નબળા સંલગ્નતા સાથે સ્પુટરિંગ અણુઓને દૂર કરે છે, અને સબસ્ટ્રેટ સપાટીને શુદ્ધ અને સક્રિય કરે છે.તેથી, સ્પુટર્ડ ફિલ્મ સબસ્ટ્રેટને મજબૂત સંલગ્નતા ધરાવે છે.
③ લક્ષ્ય કરતાં અલગ નવી સામગ્રીની ફિલ્મ તૈયાર કરી શકાય છે
જો રિએક્ટિવ ગેસ સ્પુટરિંગ દરમિયાન તેને લક્ષ્ય સાથે પ્રતિક્રિયા કરવા માટે રજૂ કરવામાં આવે, તો લક્ષ્યથી સંપૂર્ણપણે અલગ નવી સામગ્રીની ફિલ્મ મેળવી શકાય છે.ઉદાહરણ તરીકે, સિલિકોનનો ઉપયોગ સ્પુટરિંગ લક્ષ્ય તરીકે થાય છે, અને ઓક્સિજન અને આર્ગોન એકસાથે વેક્યૂમ ચેમ્બરમાં મૂકવામાં આવે છે.સ્પુટરિંગ પછી, SiOz ઇન્સ્યુલેટીંગ ફિલ્મ મેળવી શકાય છે.સ્પટરિંગ લક્ષ્ય તરીકે ટાઇટેનિયમનો ઉપયોગ કરીને, નાઇટ્રોજન અને આર્ગોનને વેક્યૂમ ચેમ્બરમાં એકસાથે મૂકવામાં આવે છે, અને તબક્કો ટીએન ગોલ્ડ જેવી ફિલ્મ સ્પુટરિંગ પછી મેળવી શકાય છે.
④ ઉચ્ચ શુદ્ધતા અને ફિલ્મની સારી ગુણવત્તા
સ્પટરિંગ ફિલ્મ તૈયાર કરવાના ઉપકરણમાં કોઈ ક્રુસિબલ ઘટક ન હોવાથી, ક્રુસિબલ હીટર સામગ્રીના ઘટકોને સ્પટરિંગ ફિલ્મ લેયરમાં મિશ્રિત કરવામાં આવશે નહીં.સ્પુટરિંગ કોટિંગના ગેરફાયદા એ છે કે ફિલ્મ બનાવવાની ઝડપ બાષ્પીભવન કોટિંગ કરતા ધીમી છે, સબસ્ટ્રેટનું તાપમાન વધારે છે, તે અશુદ્ધ ગેસથી પ્રભાવિત થવું સરળ છે, અને ઉપકરણનું માળખું વધુ જટિલ છે.
આ લેખ ગુઆંગડોંગ ઝેન્હુઆ દ્વારા પ્રકાશિત કરવામાં આવ્યો છે, જે એક ઉત્પાદક છેવેક્યુમ કોટિંગ સાધનો
પોસ્ટ સમય: માર્ચ-09-2023