પ્લાઝ્મા ડાયરેક્ટ પોલિમરાઇઝેશન પ્રક્રિયા

પ્લાઝ્મા ડાયરેક્ટ પોલિમરાઇઝેશન પ્રક્રિયા

આંતરિક ઇલેક્ટ્રોડ પોલિમરાઇઝેશન સાધનો અને બાહ્ય ઇલેક્ટ્રોડ પોલિમરાઇઝેશન સાધનો બંને માટે પ્લાઝ્મા પોલિમરાઇઝેશનની પ્રક્રિયા પ્રમાણમાં સરળ છે, પરંતુ પ્લાઝમા પોલિમરાઇઝેશનમાં પરિમાણની પસંદગી વધુ મહત્વની છે, કારણ કે પ્લાઝમા પોલિમરાઇઝેશન દરમિયાન પોલિમર ફિલ્મોની રચના અને પ્રદર્શન પર પરિમાણોની વધુ અસર પડે છે.

ડાયરેક્ટ પ્લાઝ્મા પોલિમરાઇઝેશન માટેના ઓપરેશનના પગલાં નીચે મુજબ છે:

(1) વેક્યુમિંગ

શૂન્યાવકાશની સ્થિતિમાં પોલિમરાઇઝેશનની પૃષ્ઠભૂમિ શૂન્યાવકાશને 1.3×10-1Pa પર પમ્પ થવો જોઈએ.પોલિમરાઇઝેશન પ્રતિક્રિયાઓ માટે કે જેને ઓક્સિજન અથવા નાઇટ્રોજન સામગ્રીને નિયંત્રિત કરવા માટે વિશેષ આવશ્યકતાઓની જરૂર હોય છે, પૃષ્ઠભૂમિ શૂન્યાવકાશની આવશ્યકતા વધુ છે.

(2) ચાર્જ રિએક્શન મોનોમર અથવા કેરિયર ગેસ અને મોનોમરનો મિશ્ર ગેસ

વેક્યુમ ડિગ્રી 13-130Pa છે.પ્લાઝ્મા પોલિમરાઇઝેશન માટે કામની જરૂર છે, યોગ્ય પ્રવાહ નિયંત્રણ મોડ અને પ્રવાહ દર પસંદ કરવામાં આવશે, સામાન્ય રીતે 10.100mL/min.પ્લાઝ્મામાં, મોનોમર પરમાણુઓ આયનોઈઝ્ડ હોય છે અને ઊર્જાસભર કણોના બોમ્બાર્ડમેન્ટ દ્વારા વિભાજિત થાય છે, પરિણામે સક્રિય કણો જેમ કે આયનો અને સક્રિય જનીન બને છે.પ્લાઝ્મા દ્વારા સક્રિય કરાયેલ સક્રિય કણો ગેસ તબક્કા અને ઘન તબક્કાના ઇન્ટરફેસ પર પ્લાઝ્મા પોલિમરાઇઝેશનમાંથી પસાર થઈ શકે છે.મોનોમર પ્લાઝ્મા પોલિમરાઇઝેશન માટે પુરોગામી સ્ત્રોત છે, અને ઇનપુટ પ્રતિક્રિયા ગેસ અને મોનોમર ચોક્કસ શુદ્ધતા ધરાવે છે.

(3) ઉત્તેજના પાવર સપ્લાયની પસંદગી

પોલિમરાઇઝેશન માટે પ્લાઝ્મા વાતાવરણ પૂરું પાડવા માટે ડીસી, ઉચ્ચ-આવર્તન, આરએફ અથવા માઇક્રોવેવ પાવર સ્ત્રોતોનો ઉપયોગ કરીને પ્લાઝમા જનરેટ કરી શકાય છે.પાવર સપ્લાયની પસંદગી પોલિમરની રચના અને કામગીરી માટેની આવશ્યકતાઓને આધારે નક્કી કરવામાં આવે છે.

(4) ડિસ્ચાર્જ મોડની પસંદગી

પોલિમર જરૂરિયાતો માટે, પ્લાઝ્મા પોલિમરાઇઝેશન બે ડિસ્ચાર્જ મોડ્સ પસંદ કરી શકે છે: સતત ડિસ્ચાર્જ અથવા પલ્સ ડિસ્ચાર્જ.

(5) ડિસ્ચાર્જ પરિમાણોની પસંદગી

પ્લાઝ્મા પોલિમરાઇઝેશનનું સંચાલન કરતી વખતે, પ્લાઝ્મા પરિમાણો, પોલિમર ગુણધર્મો અને બંધારણની આવશ્યકતાઓમાંથી ડિસ્ચાર્જ પરિમાણોને ધ્યાનમાં લેવાની જરૂર છે.પોલિમરાઇઝેશન દરમિયાન લાગુ શક્તિની તીવ્રતા વેક્યુમ ચેમ્બરના વોલ્યુમ, ઇલેક્ટ્રોડનું કદ, મોનોમર પ્રવાહ દર અને માળખું, પોલિમરાઇઝેશન દર અને પોલિમર માળખું અને પ્રદર્શન દ્વારા નક્કી કરવામાં આવે છે.ઉદાહરણ તરીકે, જો પ્રતિક્રિયા ચેમ્બર વોલ્યુમ 1L છે અને RF પ્લાઝમા પોલિમરાઇઝેશન અપનાવવામાં આવે છે, તો ડિસ્ચાર્જ પાવર 10~30W ની રેન્જમાં હશે.આવી પરિસ્થિતિઓમાં, ઉત્પન્ન થયેલ પ્લાઝ્મા વર્કપીસની સપાટી પર પાતળી ફિલ્મ બનાવવા માટે એકત્ર થઈ શકે છે.પ્લાઝ્મા પોલિમરાઇઝેશન ફિલ્મનો વિકાસ દર વીજ પુરવઠો, મોનોમર પ્રકાર અને પ્રવાહ દર અને પ્રક્રિયાની પરિસ્થિતિઓ સાથે બદલાય છે.સામાન્ય રીતે, વૃદ્ધિ દર 100nm/min~1um/min છે.

(6) પ્લાઝ્મા પોલિમરાઇઝેશનમાં પેરામીટર માપન

પ્લાઝ્મા પોલિમરાઇઝેશનમાં માપવા માટેના પ્લાઝ્મા પરિમાણો અને પ્રક્રિયા પરિમાણોમાં નીચેનાનો સમાવેશ થાય છે: ડિસ્ચાર્જ વોલ્ટેજ, ડિસ્ચાર્જ વર્તમાન, ડિસ્ચાર્જ આવર્તન, ઇલેક્ટ્રોન તાપમાન, ઘનતા, પ્રતિક્રિયા જૂથ પ્રકાર અને સાંદ્રતા વગેરે.

——આ લેખ ગુઆંગડોંગ ઝેન્હુઆ ટેક્નોલોજી દ્વારા બહાર પાડવામાં આવ્યો હતો, એઓપ્ટિકલ કોટિંગ મશીનોના ઉત્પાદક.