1. બોમ્બાર્ડમેન્ટ ક્લિનિંગ સબસ્ટ્રેટ
1.1) સ્પુટરિંગ કોટિંગ મશીન સબસ્ટ્રેટને સાફ કરવા માટે ગ્લો ડિસ્ચાર્જનો ઉપયોગ કરે છે.એટલે કે, ચેમ્બરમાં આર્ગોન ગેસ ચાર્જ કરો, ડિસ્ચાર્જ વોલ્ટેજ લગભગ 1000V છે, પાવર સપ્લાય ચાલુ કર્યા પછી, ગ્લો ડિસ્ચાર્જ જનરેટ થાય છે, અને સબસ્ટ્રેટને આર્ગોન આયન બોમ્બાર્ડમેન્ટ દ્વારા સાફ કરવામાં આવે છે.
1.2) સ્પુટરિંગ કોટિંગ મશીનોમાં જે ઔદ્યોગિક રીતે ઉચ્ચ સ્તરના આભૂષણોનું ઉત્પાદન કરે છે, નાના આર્ક સ્ત્રોતો દ્વારા ઉત્સર્જિત ટાઇટેનિયમ આયનો મોટાભાગે સફાઈ માટે વપરાય છે.સ્પુટરિંગ કોટિંગ મશીન નાના આર્ક સ્ત્રોતથી સજ્જ છે, અને નાના ચાપ સ્ત્રોત ડિસ્ચાર્જ દ્વારા ઉત્પન્ન થયેલ આર્ક પ્લાઝ્મામાં ટાઇટેનિયમ આયન સ્ટ્રીમનો ઉપયોગ સબસ્ટ્રેટને બોમ્બમારો કરવા અને સાફ કરવા માટે થાય છે.
2. ટાઇટેનિયમ નાઇટ્રાઇડ કોટિંગ
ટાઇટેનિયમ નાઇટ્રાઇડ પાતળી ફિલ્મો જમા કરતી વખતે, સ્પુટરિંગ માટે લક્ષ્ય સામગ્રી ટાઇટેનિયમ લક્ષ્ય છે.લક્ષ્ય સામગ્રી સ્પુટરિંગ પાવર સપ્લાયના નકારાત્મક ઇલેક્ટ્રોડ સાથે જોડાયેલ છે, અને લક્ષ્ય વોલ્ટેજ 400~500V છે;આર્ગોન પ્રવાહ નિશ્ચિત છે, અને નિયંત્રણ શૂન્યાવકાશ (3~8) x10 છે-1PAસબસ્ટ્રેટ 100~200V ના વોલ્ટેજ સાથે, બાયસ પાવર સપ્લાયના નકારાત્મક ઇલેક્ટ્રોડ સાથે જોડાયેલ છે.
સ્પટરિંગ ટાઈટેનિયમ ટાર્ગેટનો પાવર સપ્લાય ચાલુ કર્યા પછી, ગ્લો ડિસ્ચાર્જ જનરેટ થાય છે અને ઉચ્ચ-ઊર્જાવાળા આર્ગોન આયનો સ્પુટરિંગ ટાર્ગેટ પર બોમ્બ ધડાકા કરે છે, ટાઈટેનિયમના પરમાણુને ટારગેટમાંથી ફેંકી દે છે.
પ્રતિક્રિયા ગેસ નાઇટ્રોજન રજૂ કરવામાં આવે છે, અને ટાઇટેનિયમ અણુઓ અને નાઇટ્રોજનને કોટિંગ ચેમ્બરમાં ટાઇટેનિયમ આયન અને નાઇટ્રોજન આયનોમાં આયનીકરણ કરવામાં આવે છે.સબસ્ટ્રેટ પર લાગુ પડતા નકારાત્મક પૂર્વગ્રહના ઇલેક્ટ્રિક ક્ષેત્રના આકર્ષણ હેઠળ, ટાઇટેનિયમ આયનો અને નાઇટ્રોજન આયનો રાસાયણિક પ્રક્રિયા માટે સબસ્ટ્રેટની સપાટી પર વેગ આપે છે અને ટાઇટેનિયમ નાઇટ્રાઇડ ફિલ્મ સ્તર બનાવે છે.
3. સબસ્ટ્રેટને બહાર કાઢો
પૂર્વનિર્ધારિત ફિલ્મની જાડાઈ સુધી પહોંચ્યા પછી, સ્પટરિંગ પાવર સપ્લાય, સબસ્ટ્રેટ બાયસ પાવર સપ્લાય અને એર સોર્સ બંધ કરો.સબસ્ટ્રેટનું તાપમાન 120 ℃ કરતા ઓછું થઈ જાય પછી, કોટિંગ ચેમ્બરને હવાથી ભરો અને સબસ્ટ્રેટને બહાર કાઢો.
આ લેખ દ્વારા પ્રકાશિત કરવામાં આવ્યો છેમેગ્નેટ્રોન સ્પુટરિંગ કોટિંગ મશીન ઉત્પાદક- ગુઆંગડોંગ ઝેન્હુઆ.
પોસ્ટ સમય: એપ્રિલ-07-2023