કેથોડિક આર્ક સોર્સ આયન કોટિંગની પ્રક્રિયા મૂળભૂત રીતે અન્ય કોટિંગ તકનીકો જેવી જ છે, અને વર્કપીસ ઇન્સ્ટોલ કરવા અને વેક્યુમિંગ જેવી કેટલીક કામગીરી હવે પુનરાવર્તિત થતી નથી.
1. વર્કપીસની બોમ્બાર્ડમેન્ટ સફાઈ
કોટિંગ પહેલાં, આર્ગોન ગેસ 2×10-2Pa ના વેક્યૂમ સાથે કોટિંગ ચેમ્બરમાં દાખલ કરવામાં આવે છે.
20% ની ડ્યુટી સાયકલ અને 800-1000V ના વર્કપીસ પૂર્વગ્રહ સાથે, પલ્સ બાયસ પાવર સપ્લાય ચાલુ કરો.
જ્યારે આર્ક પાવર ચાલુ થાય છે, ત્યારે કોલ્ડ ફિલ્ડ આર્ક લાઇટ ડિસ્ચાર્જ જનરેટ થાય છે, જે આર્ક સ્ત્રોતમાંથી મોટી માત્રામાં ઇલેક્ટ્રોન કરંટ અને ટાઇટેનિયમ આયન કરંટ બહાર કાઢે છે, જે ઉચ્ચ ઘનતા પ્લાઝ્મા બનાવે છે.ટાઇટેનિયમ આયન વર્કપીસ પર લાગુ નકારાત્મક ઉચ્ચ પૂર્વગ્રહના દબાણ હેઠળ વર્કપીસમાં તેના ઇન્જેક્શનને વેગ આપે છે, વર્કપીસની સપાટી પર શોષાયેલા શેષ ગેસ અને પ્રદૂષકોને બોમ્બમારો અને સ્ફટર કરે છે અને વર્કપીસની સપાટીને સાફ અને શુદ્ધ કરે છે;તે જ સમયે, કોટિંગ ચેમ્બરમાં ક્લોરિન ગેસ ઇલેક્ટ્રોન દ્વારા આયનાઇઝ્ડ થાય છે, અને આર્ગોન આયનો વર્કપીસની સપાટીના બોમ્બમાર્ટને વેગ આપે છે.
તેથી, બોમ્બાર્ડમેન્ટ સફાઈ અસર સારી છે.માત્ર 1 મિનિટની બોમ્બાર્ડમેન્ટ સફાઈ વર્કપીસને સાફ કરી શકે છે, જેને "મુખ્ય આર્ક બોમ્બાર્ડમેન્ટ" કહેવામાં આવે છે.ટાઇટેનિયમ આયનોના ઊંચા જથ્થાને લીધે, જો નાના ચાપ સ્ત્રોતનો ઉપયોગ વર્કપીસને ખૂબ લાંબા સમય સુધી બોમ્બમારો કરવા અને સાફ કરવા માટે કરવામાં આવે છે, તો વર્કપીસનું તાપમાન વધુ ગરમ થવાની સંભાવના છે, અને ટૂલની ધાર નરમ બની શકે છે.સામાન્ય ઉત્પાદનમાં, નાના ચાપ સ્ત્રોતો ઉપરથી નીચે સુધી એક પછી એક ચાલુ કરવામાં આવે છે, અને દરેક નાના ચાપ સ્ત્રોતમાં લગભગ 1 મિનિટનો બોમ્બાર્ડમેન્ટ સફાઈનો સમય હોય છે.
（1） કોટિંગ ટાઇટેનિયમ તળિયે સ્તર
ફિલ્મ અને સબસ્ટ્રેટ વચ્ચે સંલગ્નતા સુધારવા માટે, શુદ્ધ ટાઇટેનિયમ સબસ્ટ્રેટનું સ્તર સામાન્ય રીતે ટાઇટેનિયમ નાઇટ્રાઇડ કોટિંગ પહેલાં કોટેડ કરવામાં આવે છે.શૂન્યાવકાશ સ્તરને 5×10-2-3×10-1Pa પર સમાયોજિત કરો, વર્કપીસ બાયસ વોલ્ટેજને 400-500V પર સમાયોજિત કરો અને પલ્સ બાયસ પાવર સપ્લાયના ડ્યુટી સાઇકલને 40%~50% પર સમાયોજિત કરો.હજુ પણ કોલ્ડ ફિલ્ડ આર્સીંગ ડિસ્ચાર્જ જનરેટ કરવા માટે એક પછી એક નાના ચાપ સ્ત્રોતોને સળગાવી રહ્યા છે.વર્કપીસના નકારાત્મક પૂર્વગ્રહ વોલ્ટેજમાં ઘટાડો થવાને કારણે, ટાઇટેનિયમ આયનોની ઊર્જા ઘટે છે.વર્કપીસ પર પહોંચ્યા પછી, સ્પટરિંગ અસર ડિપોઝિશન અસર કરતા ઓછી હોય છે, અને ટાઇટેનિયમ નાઇટ્રાઇડ હાર્ડ ફિલ્મ લેયર અને સબસ્ટ્રેટ વચ્ચેના બોન્ડિંગ ફોર્સને સુધારવા માટે વર્કપીસ પર ટાઇટેનિયમ ટ્રાન્ઝિશન લેયર બનાવવામાં આવે છે.આ પ્રક્રિયા વર્કપીસને ગરમ કરવાની પ્રક્રિયા પણ છે.જ્યારે શુદ્ધ ટાઇટેનિયમ લક્ષ્ય વિસર્જિત થાય છે, ત્યારે પ્લાઝ્મામાં પ્રકાશ એઝ્યુર વાદળી હોય છે.
1.એમોનિએટેડ વાટકી હાર્ડ ફિલ્મ કોટિંગ
વેક્યૂમ ડિગ્રીને 3×10 પર સમાયોજિત કરો-1-5Pa, વર્કપીસ બાયસ વોલ્ટેજને 100-200V પર સમાયોજિત કરો અને પલ્સ બાયસ પાવર સપ્લાયના ડ્યુટી સાયકલને 70%~80% પર સમાયોજિત કરો.નાઇટ્રોજનની રજૂઆત પછી, ટાઇટેનિયમ એ ટાઇટેનિયમ નાઇટ્રાઇડ હાર્ડ ફિલ્મને જમા કરવા માટે ચાપ ડિસ્ચાર્જ પ્લાઝ્મા સાથે સંયોજન પ્રતિક્રિયા છે.આ બિંદુએ, વેક્યૂમ ચેમ્બરમાં પ્લાઝ્માનો પ્રકાશ ચેરી લાલ છે.જો સી2H2, ઓ2, વગેરે રજૂ કરવામાં આવે છે, TiCN, TiO2વગેરે ફિલ્મ સ્તરો મેળવી શકાય છે.
-આ લેખ ગુઆંગડોંગ ઝેન્હુઆ દ્વારા બહાર પાડવામાં આવ્યો હતો, એવેક્યુમ કોટિંગ મશીન ઉત્પાદક
પોસ્ટ સમય: જૂન-01-2023