આયન કોટિંગમશીન 1960 ના દાયકામાં ડીએમ મેટોક્સ દ્વારા પ્રસ્તાવિત થિયરીમાંથી ઉદ્દભવ્યું હતું, અને તે સમયે અનુરૂપ પ્રયોગો શરૂ થયા હતા;1971 સુધી, ચેમ્બર્સ અને અન્યોએ ઇલેક્ટ્રોન બીમ આયન પ્લેટિંગની ટેકનોલોજી પ્રકાશિત કરી;રિએક્ટિવ બાષ્પીભવન પ્લેટિંગ (ARE) ટેક્નોલોજી 1972માં બુનશાહ રિપોર્ટમાં દર્શાવવામાં આવી હતી, જ્યારે TiC અને TiN જેવી સુપર-હાર્ડ ફિલ્મનું નિર્માણ કરવામાં આવ્યું હતું;1972માં પણ, સ્મિથ અને મોલીએ કોટિંગ પ્રક્રિયામાં હોલો કેથોડ ટેકનોલોજી અપનાવી હતી.1980 ના દાયકા સુધીમાં, ચીનમાં આયન પ્લેટિંગ આખરે ઔદ્યોગિક એપ્લિકેશનના સ્તરે પહોંચી ગયું હતું, અને વેક્યૂમ મલ્ટિ-આર્ક આયન પ્લેટિંગ અને આર્ક-ડિસ્ચાર્જ આયન પ્લેટિંગ જેવી કોટિંગ પ્રક્રિયાઓ ક્રમિક રીતે દેખાઈ હતી.
વેક્યૂમ આયન પ્લેટિંગની સમગ્ર કાર્ય પ્રક્રિયા નીચે મુજબ છે: પ્રથમ,પંપવેક્યુમ ચેમ્બર, અને પછીરાહ જુઓશૂન્યાવકાશ દબાણ 4X10 ⁻ ³ Paઅથવા વધુ સારું, ઉચ્ચ વોલ્ટેજ પાવર સપ્લાયને કનેક્ટ કરવું અને સબસ્ટ્રેટ અને બાષ્પીભવક વચ્ચે નીચા વોલ્ટેજ ડિસ્ચાર્જ ગેસનો નીચા તાપમાનનો પ્લાઝ્મા વિસ્તાર બનાવવો જરૂરી છે.કેથોડના ગ્લો ડિસ્ચાર્જ બનાવવા માટે સબસ્ટ્રેટ ઇલેક્ટ્રોડને 5000V DC નકારાત્મક ઉચ્ચ વોલ્ટેજ સાથે જોડો.નિષ્ક્રિય ગેસ આયનો નકારાત્મક ગ્લો વિસ્તારની નજીક ઉત્પન્ન થાય છે.તેઓ કેથોડ ડાર્ક એરિયામાં પ્રવેશ કરે છે અને ઇલેક્ટ્રિક ફિલ્ડ દ્વારા ઝડપી બને છે અને સબસ્ટ્રેટની સપાટી પર બોમ્બમારો કરે છે.આ એક સફાઈ પ્રક્રિયા છે, અને પછી કોટિંગ પ્રક્રિયા દાખલ કરો.બોમ્બાર્ડમેન્ટ હીટિંગની અસર દ્વારા, કેટલીક પ્લેટિંગ સામગ્રીનું બાષ્પીભવન થાય છે.પ્લાઝ્મા વિસ્તાર પ્રોટોનમાં પ્રવેશે છે, ઇલેક્ટ્રોન અને નિષ્ક્રિય ગેસ આયનો સાથે અથડાય છે, અને તેમાંથી એક નાનો ભાગ આયનોઇઝ્ડ થાય છે, ઉચ્ચ ઉર્જાવાળા આ આયનાઇઝ્ડ આયનો ફિલ્મની સપાટી પર બોમ્બ ધડાકા કરશે અને અમુક અંશે ફિલ્મની ગુણવત્તામાં સુધારો કરશે.
શૂન્યાવકાશ આયન પ્લેટિંગનો સિદ્ધાંત છે: વેક્યૂમ ચેમ્બરમાં, ગેસ ડિસ્ચાર્જની ઘટના અથવા બાષ્પીભવન સામગ્રીના આયોનાઇઝ્ડ ભાગનો ઉપયોગ કરીને, બાષ્પીભવન સામગ્રી આયનો અથવા ગેસ આયનોના બોમ્બાર્ડમેન્ટ હેઠળ, એક સાથે આ બાષ્પીભવન કરેલા પદાર્થો અથવા તેના રિએક્ટન્ટ્સને સબસ્ટ્રેટ પર જમા કરવામાં આવે છે. પાતળી ફિલ્મ મેળવવા માટે.આયન કોટિંગમશીનશૂન્યાવકાશ બાષ્પીભવન, પ્લાઝ્મા ટેક્નોલોજી અને ગેસ ગ્લો ડિસ્ચાર્જને જોડે છે, જે માત્ર ફિલ્મની ગુણવત્તાને સુધારે છે, પરંતુ ફિલ્મની એપ્લિકેશન શ્રેણીને પણ વિસ્તૃત કરે છે.આ પ્રક્રિયાના ફાયદા મજબૂત વિવર્તન, સારી ફિલ્મ સંલગ્નતા અને વિવિધ કોટિંગ સામગ્રી છે.આયન પ્લેટિંગનો સિદ્ધાંત સૌ પ્રથમ ડીએમ મેટોક્સ દ્વારા પ્રસ્તાવિત કરવામાં આવ્યો હતો.આયન પ્લેટિંગના ઘણા પ્રકારો છે.સૌથી સામાન્ય પ્રકાર બાષ્પીભવન હીટિંગ છે, જેમાં રેઝિસ્ટન્સ હીટિંગ, ઇલેક્ટ્રોન બીમ હીટિંગ, પ્લાઝ્મા ઇલેક્ટ્રોન બીમ હીટિંગ, હાઇ-ફ્રિકવન્સી ઇન્ડક્શન હીટિંગ અને અન્ય હીટિંગ પદ્ધતિઓનો સમાવેશ થાય છે.
પોસ્ટ સમય: ફેબ્રુઆરી-14-2023