આયન બીમ આસિસ્ટેડ ડિપોઝિશન ટેકનોલોજી

વાસ્તવમાં, આયન બીમ આસિસ્ટેડ ડિપોઝિશન ટેક્નોલોજી એ સંયુક્ત ટેકનોલોજી છે.તે એક સંયુક્ત સપાટી આયન ટ્રીટમેન્ટ ટેકનિક છે જે આયન ઈમ્પ્લાન્ટેશન અને ફિઝિકલ વેપર ડિપોઝિશન ફિલ્મ ટેકનોલોજી અને આયન બીમ સરફેસ ઓપ્ટિમાઈઝેશન ટેક્નિકનો એક નવો પ્રકાર છે.ભૌતિક વરાળના જથ્થાના ફાયદાઓ ઉપરાંત, આ તકનીક વધુ કડક નિયંત્રણ પરિસ્થિતિઓ હેઠળ કોઈપણ જાડાઈની ફિલ્મને સતત વધારી શકે છે, ફિલ્મ સ્તરની સ્ફટિકીયતા અને અભિગમને વધુ નોંધપાત્ર રીતે સુધારી શકે છે, ફિલ્મ સ્તર/સબસ્ટ્રેટની સંલગ્નતાની શક્તિમાં વધારો કરી શકે છે, ઘનતામાં સુધારો કરી શકે છે. ફિલ્મ લેયરનું, અને ઓરડાના તાપમાને અને દબાણ પર મેળવી શકાતી ન હોય તેવી નવી પ્રકારની ફિલ્મો સહિત, ઓરડાના તાપમાને આદર્શ સ્ટોઇકિયોમેટ્રિક ગુણોત્તર સાથે સંયોજન ફિલ્મોનું સંશ્લેષણ કરો.આયન બીમ આસિસ્ટેડ ડિપોઝિશન માત્ર આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન પ્રક્રિયાના ફાયદાઓને જાળવી રાખે છે, પરંતુ સબસ્ટ્રેટથી સંપૂર્ણપણે અલગ ફિલ્મ સાથે સબસ્ટ્રેટને પણ આવરી શકે છે.
તમામ પ્રકારના ભૌતિક વરાળ ડિપોઝિશન અને રાસાયણિક વરાળ ડિપોઝિશનમાં, IBAD સિસ્ટમ બનાવવા માટે સહાયક બોમ્બાર્ડમેન્ટ આયન બંદૂકોનો સમૂહ ઉમેરી શકાય છે, અને નીચે પ્રમાણે બે સામાન્ય IBAD પ્રક્રિયાઓ છે, જે ચિત્રમાં બતાવેલ છે:

Pic (a) માં બતાવ્યા પ્રમાણે, ઇલેક્ટ્રોન બીમ બાષ્પીભવન સ્ત્રોતનો ઉપયોગ આયન બંદૂકમાંથી ઉત્સર્જિત આયન બીમ સાથે ફિલ્મ સ્તરને ઇરેડિયેટ કરવા માટે થાય છે, આમ આયન બીમ સહાયિત જુબાનીની અનુભૂતિ થાય છે.ફાયદો એ છે કે આયન બીમ ઉર્જા અને દિશાને સમાયોજિત કરી શકાય છે, પરંતુ બાષ્પીભવન સ્ત્રોત તરીકે માત્ર એક અથવા મર્યાદિત મિશ્રધાતુ અથવા સંયોજનનો ઉપયોગ કરી શકાય છે, અને એલોય ઘટક અને સંયોજનનું દરેક વરાળનું દબાણ અલગ છે, જે તેને મુશ્કેલ બનાવે છે. મૂળ બાષ્પીભવન સ્ત્રોત રચનાનું ફિલ્મ સ્તર મેળવવા માટે.
Pic (b) આયન બીમ સ્પટરિંગ-આસિસ્ટેડ ડિપોઝિશન દર્શાવે છે, જેને ડબલ આયન બીમ સ્પટરિંગ ડિપોઝિશન તરીકે પણ ઓળખવામાં આવે છે, જેમાં આયન બીમ સ્પટરિંગ કોટિંગ મટિરિયલથી બનેલું લક્ષ્ય, સ્પુટરિંગ પ્રોડક્ટ્સનો સ્ત્રોત તરીકે ઉપયોગ થાય છે.તેને સબસ્ટ્રેટ પર જમા કરતી વખતે, અન્ય આયન સ્ત્રોત સાથે ઇરેડિયેશન દ્વારા આયન બીમ સ્પટરિંગ સહાયિત ડિપોઝિશન પ્રાપ્ત થાય છે.આ પદ્ધતિનો ફાયદો એ છે કે સ્પુટર્ડ કણોમાં ચોક્કસ ઊર્જા હોય છે, તેથી સબસ્ટ્રેટ સાથે વધુ સારી રીતે સંલગ્નતા હોય છે;લક્ષ્યના કોઈપણ ઘટકને સ્પુટર કોટિંગ કરી શકાય છે, પરંતુ તે ફિલ્મમાં રિએક્શન સ્પુટરિંગ પણ હોઈ શકે છે, ફિલ્મની રચનાને સમાયોજિત કરવામાં સરળ છે, પરંતુ તેની ડિપોઝિશન કાર્યક્ષમતા ઓછી છે, લક્ષ્ય ખર્ચાળ છે અને પસંદગીયુક્ત સ્પુટરિંગ જેવી સમસ્યાઓ છે.