મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ અને કેથોડિક મલ્ટી-આર્ક આયન કોટિંગ સંયુક્ત ટેકનોલોજી

મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ અને કેથોડિક મલ્ટી-આર્ક આયન કોટિંગના સંયુક્ત કોટિંગ સાધનો અલગથી અને એકસાથે કામ કરી શકે છે;જમા કરી શકાય છે અને શુદ્ધ મેટલ ફિલ્મ, મેટલ કમ્પાઉન્ડ ફિલ્મ અથવા સંયુક્ત ફિલ્મ તૈયાર કરી શકાય છે;ફિલ્મનું સિંગલ લેયર અને મલ્ટિ-લેયર કમ્પોઝિટ ફિલ્મ હોઈ શકે છે.

તેના ફાયદા નીચે મુજબ છે:
તે માત્ર વિવિધ આયન કોટિંગ્સના ફાયદાઓને સંયોજિત કરતું નથી અને એપ્લિકેશનના વિવિધ ક્ષેત્રો માટે પાતળી ફિલ્મની તૈયારી અને જમાવટને ધ્યાનમાં લે છે, પરંતુ તે જ શૂન્યાવકાશમાં મલ્ટિ-લેયર મોનોલિથિક ફિલ્મો અથવા મલ્ટિ-લેયર કમ્પોઝિટ ફિલ્મોને જમા અને તૈયાર કરવાની મંજૂરી આપે છે. એક સમયે કોટિંગ ચેમ્બર.
જમા થયેલ ફિલ્મ સ્તરોની એપ્લિકેશનનો વ્યાપકપણે ઉપયોગ થાય છે તેની તકનીકો વિવિધ સ્વરૂપોમાં હોય છે, લાક્ષણિક નીચે મુજબ છે:
(1) બિન-સંતુલન મેગ્નેટ્રોન સ્પટરિંગ અને કેથોડિક આયન પ્લેટિંગ ટેકનોલોજીનું સંયોજન.
તેનું ઉપકરણ નીચે પ્રમાણે બતાવવામાં આવ્યું છે.તે સ્તંભાકાર મેગ્નેટ્રોન ટાર્ગેટ અને પ્લાનર કેથોડિક આર્ક આયન કોટિંગનું સંયોજન કોટિંગ સાધન છે, જે ટૂલ કોટિંગ કમ્પાઉન્ડ ફિલ્મ અને ડેકોરેટિવ ફિલ્મ કોટિંગ બંને માટે યોગ્ય છે.ટૂલ કોટિંગ માટે, કેથોડિક આર્ક આયન કોટિંગનો ઉપયોગ પહેલા બેઝ લેયર કોટિંગ માટે કરવામાં આવે છે, અને પછી કૉલમ મેગ્નેટ્રોન લક્ષ્યનો ઉપયોગ નાઈટ્રાઈડ અને અન્ય ફિલ્મ સ્તરોના નિરાકરણ માટે ઉચ્ચ-ચોકસાઇવાળા પ્રોસેસિંગ ટૂલ સપાટીની ફિલ્મ મેળવવા માટે થાય છે.
ડેકોરેટિવ કોટિંગ માટે, TiN અને ZrN ડેકોરેટિવ ફિલ્મોને પહેલા કેથોડિક આર્ક કોટિંગ દ્વારા જમા કરી શકાય છે, અને પછી મેગ્નેટ્રોન લક્ષ્યોનો ઉપયોગ કરીને મેટલ સાથે ડોપ કરી શકાય છે, અને ડોપિંગ અસર ખૂબ સારી છે.

(2) ટ્વીન પ્લેન મેગ્નેટ્રોન અને કૉલમ કેથોડ આર્ક આયન કોટિંગ તકનીકોનું સંયોજન.ઉપકરણ નીચે પ્રમાણે બતાવવામાં આવ્યું છે.તે અદ્યતન ટ્વીન ટાર્ગેટ ટેક્નોલોજીનો ઉપયોગ કરે છે, જ્યારે મધ્યમ આવર્તન વીજ પુરવઠા સાથે જોડાયેલા બે બાજુ-બાજુના જોડિયા લક્ષ્યો, તે માત્ર ડીસી સ્પુટરિંગ, આગ અને અન્ય ખામીઓના લક્ષ્ય ઝેરને દૂર કરે છે;અને Al203, SiO2 ઓક્સાઇડ ગુણવત્તાવાળી ફિલ્મ જમા કરી શકે છે, જેથી કોટેડ ભાગોનો ઓક્સિડેશન પ્રતિકાર વધ્યો અને સુધારો થયો.શૂન્યાવકાશ ચેમ્બરની મધ્યમાં સ્થાપિત સ્તંભાકાર મલ્ટિ-આર્ક લક્ષ્ય, લક્ષ્ય સામગ્રીનો ઉપયોગ Ti અને Zr કરી શકાય છે, માત્ર ઉચ્ચ મલ્ટિ-આર્ક ડિસોસિએશન રેટ, ડિપોઝિશન રેટના ફાયદા જાળવવા માટે જ નહીં, પણ અસરકારક રીતે "ટીપું" ઘટાડી શકે છે. નાના પ્લેન મલ્ટિ-આર્ક ટાર્ગેટ ડિપોઝિશનની પ્રક્રિયા, મેટલ ફિલ્મો, કમ્પાઉન્ડ ફિલ્મોની ઓછી છિદ્રાળુતા જમા અને તૈયાર કરી શકે છે.જો પેરિફેરી પર સ્થાપિત ટ્વીન પ્લાનર મેગ્નેટ્રોન લક્ષ્યો માટે લક્ષ્ય સામગ્રી તરીકે Al અને Si નો ઉપયોગ કરવામાં આવે, તો Al203 અથવા Si0 મેટલ-સિરામિક ફિલ્મો જમા કરી શકાય છે અને તૈયાર કરી શકાય છે.વધુમાં, મલ્ટી-આર્ક બાષ્પીભવન સ્ત્રોતના બહુવિધ નાના વિમાનો પરિઘ પર સ્થાપિત કરી શકાય છે, અને તેની લક્ષ્ય સામગ્રી Cr અથવા Ni હોઈ શકે છે, અને મેટલ ફિલ્મો અને મલ્ટિલેયર કમ્પોઝિટ ફિલ્મો જમા અને તૈયાર કરી શકાય છે.તેથી, આ સંયુક્ત કોટિંગ તકનીક બહુવિધ એપ્લિકેશનો સાથે સંયુક્ત કોટિંગ તકનીક છે.