Haɗaɗɗen kayan aiki na magnetron sputtering da cathodic Multi-arc ion shafi na iya aiki daban kuma a lokaci guda;za a iya ajiyewa da shirya fim ɗin ƙarfe mai tsabta, fim ɗin fili na ƙarfe ko fim ɗin da aka haɗa;na iya zama fim ɗin fim ɗaya da fim ɗin haɗaɗɗun nau'i-nau'i.
Amfaninsa kamar haka:
Ba wai kawai ya haɗu da fa'idodi na suturar ion daban-daban ba kuma yana la'akari da shirye-shiryen da jigo na fim ɗin bakin ciki don fannoni daban-daban na aikace-aikacen, amma kuma yana ba da damar ƙaddamarwa da shirye-shiryen fina-finai na monolithic multi-Layer ko fina-finai masu tarin yawa a cikin injin guda ɗaya. rufi dakin a lokaci guda.
Ana amfani da aikace-aikacen da aka ajiye na fim ɗin da aka yi amfani da shi a ko'ina cikin fasahar sa a cikin nau'i-nau'i iri-iri, irin su kamar haka:
(1) Ginin mara daidaituwa na magnetron sputtering da fasahar plating cathodic ion.
Ana nuna na'urar sa kamar haka.Yana da wani fili shafi kayan aiki na columnar magnetron manufa da kuma planar cathodic baka ion shafi, wanda ya dace da duka kayan aiki shafi fili film da na ado film shafi.Domin kayan aiki shafi, da cathodic arc ion shafi da ake amfani da farko ga tushe Layer shafi, sa'an nan kuma shafi magnetron manufa da ake amfani da jijiya na nitride da sauran fim yadudduka don samun wani high-daidaici aiki kayan aiki surface fim.
Don kayan ado na ado, ana iya ajiye fina-finai na kayan ado na TiN da ZrN ta hanyar suturar arc na cathodic da farko, sa'an nan kuma doped tare da karfe ta amfani da maƙallan magnetron, kuma tasirin doping yana da kyau sosai.
(2) A fili na tagwaye jirgin magnetron da shafi cathode baka ion shafi dabaru.Ana nuna na'urar kamar haka.Ana amfani da fasahar tagwaye na ci gaba, lokacin da biyu gefe-da-gefe tagwaye hari da aka danganta da matsakaicin wutar lantarki, ba wai kawai ya shawo kan gubar da aka yi niyya na watsar da DC ba, wuta da sauran abubuwan da suka faru;kuma zai iya ajiyewa Al203, SiO2 oxide ingancin fim, don haka juriya na oxidation na sassan da aka rufe sun karu kuma sun inganta.Columnar Multi-arc manufa shigar a tsakiyar dakin dakin, da manufa abu za a iya amfani da Ti da Zr, ba kawai don kula da abũbuwan amfãni daga high Multi-arc dissociation kudi, Deposition kudi, amma kuma iya yadda ya kamata rage " droplets " a cikin. da aiwatar da kananan jirgin sama Multi-baka manufa ajiya, iya ajiya da kuma shirya wani low porosity na karfe fina-finai, fili fina-finai.Idan an yi amfani da Al da Si azaman kayan da aka yi niyya don maƙasudin tagwayen planar magnetron da aka sanya a kewaye, za a iya ajiyewa da shirya fina-finai na ƙarfe- yumbu na Al203 ko Si0.Bugu da ƙari, ana iya shigar da ƙananan jirage masu yawa na tushen ƙafewar baka da yawa a kewayen, kuma kayan da aka yi niyya na iya zama Cr ko Ni, kuma ana iya ajiye fina-finai na ƙarfe da fina-finai na multilayer da kuma shirya su.Sabili da haka, wannan fasaha mai haɗakarwa shine fasaha mai mahimmanci tare da aikace-aikace masu yawa.
Lokacin aikawa: Nuwamba-08-2022