ʻIkepili o nā pono a me nā pōʻino o ka Electron Beam Evaporation

hoʻolauna:

Ma ke kahua o ka ʻenehana deposition kiʻiʻoniʻoni lahilahi, ʻo ka electron beam evaporation kahi ʻano koʻikoʻi i hoʻohana ʻia i nā ʻoihana like ʻole e hana i nā kiʻiʻoniʻoni lahilahi kiʻekiʻe.ʻO kāna mau waiwai kūʻokoʻa a me ka pololei kūpono ʻole e lilo ia i koho maikaʻi no nā mea noiʻi a me nā mea hana.Eia nō naʻe, e like me nā ʻenehana, ʻo ka e-beam evaporation he mau palena nui.

Nā pōmaikaʻi o ka evaporation electron beam:

1. Kiʻekiʻe deposition rate: E-beam evaporation he maikaʻi deposition rate hoʻohālikelike ʻia me nā ʻano hana ʻē aʻe e like me ka hoʻoheheʻe wela a i ʻole ka hoʻoheheʻe sputter.ʻOi aku ka maikaʻi o ka hana ʻana i nā kiʻiʻoniʻoni lahilahi, mālama i ka manawa a me nā kumuwaiwai.

2. E hoʻomaikaʻi i ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni: Hiki i ka E-beam evaporation ke hana i nā kiʻiʻoniʻoni me ka hoʻopili maikaʻi a me ka maʻemaʻe.ʻO ka ikehu kiʻekiʻe o ka electron beam e kōkua i ka hoʻomaʻemaʻe pono ʻana i ka ʻili o ka substrate, ka hopena i ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni maikaʻi a me ka hoʻomaikaʻi ʻana i ka hana huahana hopena.

3. Ka mana pololei o ka mānoanoa kiʻiʻoniʻoni: Hiki i ka hoʻoheheʻe ʻana o ke kukui uila ke hoʻomaopopo i ka mana pololei o ka mānoanoa kiʻiʻoniʻoni i waiho ʻia.He mea koʻikoʻi kēia pae o ka pololei no nā noi e koi ana i ka mānoanoa o ka papa kuhikuhi pololei, e like me nā uhi optical.

ʻO nā hemahema o ka hoʻoheheʻe ʻana i ka electron beam:

1. ʻAʻole kūpono ka hoʻoheheʻe ʻana o E-beam no nā mea āpau.ʻAʻole hiki i kekahi mau mea, ʻoi aku ka liʻiliʻi me nā wahi hoʻoheheʻe haʻahaʻa a i ʻole ke kaomi mahu kiʻekiʻe, ke pale aku i ka wela nui i hana ʻia e ka kukuna electron.Hoʻopili kēia i ka laulā o nā mea hiki ke waiho ʻia me ka hoʻohana ʻana i kēia ʻenehana.

2. ʻO ke kumu kūʻai o nā lako kiʻekiʻe: Ke hoʻohālikelike ʻia me nā ʻano deposition ʻē aʻe, ʻoi aku ka pipiʻi o nā mea hana e pono ai no ka hoʻoheheʻe ʻana i ka electron beam.Hiki i kēia hoʻopukapuka mua ke hoʻokau i kahi pale kālā no nā hana liʻiliʻi a i ʻole nā ​​​​mea noiʻi me nā kālā liʻiliʻi.

3. Ka hoʻonohonoho paʻakikī a me ka mālama ʻana: ʻO ka hoʻonohonoho ʻana a me ka mālama ʻana i kahi ʻōnaehana evaporation e-beam hiki ke paʻakikī.Pono ka ʻike a me ka ʻike, a me ka mālama mau ʻana e hōʻoia i ka hana mau.ʻO nā mea paʻakikī e pili ana i mea paʻakikī i kēlā mau mea hou a me nā ʻenehana hoʻopaʻa kiʻi lahilahi ke hoʻomaopopo.