He aha nā mea e pili ana i ka make ʻana o ka pahu i ka magnetron sputtering？

1, Ka hoʻokumu ʻana i nā pūhui metala ma ka ʻili i hoʻopaʻa ʻia
ʻAuhea ka pūhui i hoʻokumu ʻia i ke kaʻina hana o ka hui ʻana mai ka ʻili i hoʻopaʻa ʻia metala ma o ke kaʻina hana sputtering reactive?Ma muli o ka hopena kemika ma waena o nā ʻāpana kinoea reactive a me nā ʻātoma o ka ʻili i manaʻo ʻia e hoʻohua mai i nā ʻātoma hui, ʻo ia ka exothermic maʻamau, pono e loaʻa i ka wela wela ke ala e hana ai, inā ʻaʻole hiki ke hoʻomau ka hopena kemika.Ma lalo o nā kūlana momi, ʻaʻole hiki ke hoʻololi ʻia ka wela ma waena o nā kinoea, no laila pono ka hopena kemika ma kahi ʻili paʻa.Hoʻopuka ka sputtering pane i nā pūhui ma luna o nā ʻili i hoʻopaʻa ʻia, nā ʻili substrate, a me nā papa hana ʻē aʻe.ʻO ka hana ʻana i nā pūhui ma ka ʻili o ka substrate ka pahuhopu, ʻo ka hoʻohua ʻana i nā pūhui ma nā ʻaoʻao kūkulu ʻē aʻe he mea ʻino ia o nā kumu waiwai, a ʻo ka hoʻokumu ʻana i nā pūhui ma ka ʻili i hoʻomaka ʻia ma ke ʻano he kumu o nā ʻātoma huila a lilo i mea pale i ka hoʻolako mau ʻana i nā ʻātoma hui.

2, Nā kumu hopena o ka lāʻau make
ʻO ke kumu nui e pili ana i ka lāʻau make ʻana, ʻo ia ka ratio o ke kinoea hopena a me ke kinoea sputtering.Hoʻokō ʻia ke kaʻina hana sputtering reactive i loko o ka ʻili i manaʻo ʻia e uhi ʻia e ka pūhui hopena a i ʻole ua wehe ʻia ka pūhui hopena a hōʻike hou ʻia ka ʻili metala.Inā ʻoi aku ka nui o ka nui o ka hui ʻana ma mua o ka wehe ʻana o ka hui ʻana, e piʻi aʻe ka ʻāpana uhi hui.Ma kekahi mana, pi'i ka nui o ke kinoea ho'ohehe'e i loko o ka hana ho'ohuihui a pi'i ka nui o ka hana ho'ohuihui.Inā pi'i nui ka nui o ke kinoea ho'ohehe'e, pi'i ka wahi uhi hui.A inā ʻaʻole hiki ke hoʻololi ʻia ke kahe o ke kinoea hopena i ka manawa, ʻaʻole i kāohi ʻia ka nui o ka hoʻonui ʻia ʻana o ka uhi ʻana, a e uhi hou ʻia ke kahawai sputtering e ka pūhui, ke uhi ʻia ka pahu sputtering e ka pūhui, ʻo ka pahu hopu. ʻona loa.

3, ʻO ke ʻano mea ʻona
(1) hōʻiliʻili ion maikaʻi: i ka wā e make ai ka pahu hopu, e hoʻokumu ʻia kahi papa o ka insulating film ma luna o ka ʻili i hoʻopaʻa ʻia, hiki i nā ion maikaʻi i ka ʻili o ka cathode ma muli o ka blockage o ka papa insulating.ʻAʻole i komo pololei i ka ʻili o ka cathode target, akā e hōʻiliʻili ma ka ʻaoʻao i hoʻopaʻa ʻia, maʻalahi e hana i ke kahua anu i ka hoʻokuʻu ʻana - arcing, no laila ʻaʻole hiki ke hoʻomau ka cathode sputtering.
(2) nalo anode: i ka wa e make ai ka pahu hopu, ka paia o ke keena lepo i waiho pu ia me ka insulating film, a hiki i ka anode electron aole hiki ke komo i ka anode, ke kukuluia o anode nalo.

4, ʻO ka wehewehe kino ʻana o ka make ʻana o ka pahu hopu
(1) Ma keʻano laulā, ʻoi aku ka kiʻekiʻe o ka lua o ka hoʻoheheʻe electron o nā pūhui metala ma mua o nā metala.Ma hope o ka make ʻana o ka pahu hopu, ʻo ka ʻili o ka mea i hoʻopaʻa ʻia he pūhui metala a pau, a ma hope o ka puhi ʻia ʻana e nā ion, piʻi ka helu o nā electrons lua i hoʻokuʻu ʻia, kahi e hoʻomaikaʻi ai i ka conductivity o ka lewa a hoʻemi i ka impedance plasma, e alakaʻi ana i kahi haʻahaʻa haʻahaʻa.Hoʻemi kēia i ka nui o ka sputtering.ʻO ka mea maʻamau, aia ma waena o 400V-600V ka uila sputtering o ka magnetron sputtering, a i ka wā e loaʻa ai ka make ʻana, e hoʻemi nui ʻia ka uila sputtering.
(2) ʻOkoʻa ka pahu pahu pahu a me ka pahu hoʻohui i ka nui o ka sputtering ma mua, ma ke ʻano nui, ʻoi aku ka kiʻekiʻe o ka coefficient sputtering o ka metala ma mua o ka coefficient sputtering o ka hui, no laila ua haʻahaʻa ka nui o ka sputtering ma hope o ka make ʻana.
(3) He haʻahaʻa ka maikaʻi sputtering o ke kinoea sputtering reactive ma mua o ka maikaʻi sputtering o ke kinoea inert, no laila e emi ka nui o ka sputtering holoʻokoʻa ma hope o ka piʻi ʻana o ka nui o ke kinoea reactive.

5, Nā mea hoʻonā no ka make ʻana
(1) E hoʻohana i ka mana alapine alapine a i ʻole ka mana alapine radio.
(2) E hoʻopaʻa i ka mana hoʻopaʻa ʻia o ka hoʻoiho kinoea.
(3) Hoʻokomo i nā pahuhopu māhoe
(4) E kāohi i ka hoʻololi ʻana o ke ʻano uhi: Ma mua o ka uhi ʻana, e hōʻiliʻili ʻia ka hopena hysteresis hopena o ka make ʻana i mea e hoʻokele ʻia ai ke kahe ʻana o ka ea ma mua o ka hana ʻana i nā mea make e hōʻoia i ke kaʻina hana i ke ʻano ma mua o ka waiho ʻana. hāʻule haʻahaʻa loa.

-Ua paʻi ʻia kēia ʻatikala e Guangdong Zhenhua Technology, kahi mea hana i nā mea hoʻoheheʻe vacuum.