ʻO kaka uhi ʻana i ka ʻūhāUa māhele ʻia ke kaʻina hana mīkini i: ka uhi ʻana i ka hoʻoheheʻe ʻana, ka uhi ʻana o ka sputtering a me ka uhi ʻana i ka ion.
1、Ka uhi hoʻoheheʻe ʻana i ka wai
Ma lalo o ke kūlana vacuum, e hoʻoheheʻe ʻia ka mea, e like me ke metala, ka mea hao, a me nā mea ʻē aʻe a laila e waiho iā lākou ma luna o ka ʻili substrate, ʻo ke ʻano o ka uhi ʻana e hoʻohana pinepine ʻia i ka hoʻomehana ʻana, a laila hoʻokuʻu ʻia ka electron beam bombardment o ka mea uhi, hana iā lākou. e hoʻoheheʻe ʻia i loko o ke kinoea, a laila waiho ʻia ma ka ʻili o ka substrate, ma ka mōʻaukala, ʻo ka waiho ʻana i ka mahu mahu ka ʻenehana mua i hoʻohana ʻia ma ke ʻano PVD.
2、Sputtering uhi
Hoʻokuʻu ʻia ke kinoea ma lalo o (Ar)-hoʻopiha piha ʻia i nā kūlana ʻawaʻawa. i hana ʻia me ka mea uhi, e hoʻoheheʻe ʻia ka pahuhopu a waiho ʻia ma ka ʻili substrate. me nā molekele kinoea i loko o ke keʻena māma i ka wā e lele ana i ka substrate, e hoʻokaʻawale i ke ʻano o ka neʻe ʻana a me ke kiʻiʻoniʻoni i waiho ʻia e maʻalahi.
3、Ka uhi ion
Ma lalo o nā kūlana ʻawaʻawa, Ma lalo o ke kūlana ʻūhā, ua hoʻohana ʻia kekahi ʻano hana ionisation plasma e hoʻokaʻawale i nā ʻāpana mea i uhi ʻia i loko o nā ion. waiho ʻia ma ka ʻili o ka substrate ma lalo o kahi kīwaha maikaʻi ʻole hohonu e hana i kahi kiʻiʻoniʻoni lahilahi.
Ka manawa hoʻouna: Mar-23-2023