ʻO ka uhi kumu hoʻoheheʻe kūʻē he kumu hoʻoheheʻe evaporation kumu.ʻO ka "evaporation" e pili ana i kahi ʻano hoʻomākaukau kiʻiʻoniʻoni ʻoniʻoni kahi e hoʻomehana ʻia ai ka mea uhi i loko o ke keʻena māmā a hoʻoheheʻe ʻia, no laila e vaporize nā ʻātoma a i ʻole nā molekala a pakele mai ka ʻili, e hana ana i kahi ʻano kahe o ka mahu. substrate a i ʻole substrate, a hoʻopaʻa hope loa e hana i kahi kiʻiʻoniʻoni paʻa.
ʻO ka mea i kapa ʻia ʻo resistance evaporation source coating method, ʻo ia ka hoʻohana ʻana i ka tantalum, molybdenum, tungsten a me nā mea hoʻoheheʻe kiʻekiʻe ʻē aʻe e hana i kahi ʻano kūpono o ke kumu evaporation, i hoʻouka ʻia me nā mea e hoʻoheheʻe ʻia, e kahe ka ea ma, wela pololei a e hoʻoheheʻe i nā mea i hoʻoheheʻe ʻia, a i ʻole e waiho i nā mea e hoʻoheheʻe ʻia i loko o ka alumina, beryllium oxide a me nā crucibles ʻē aʻe no ka hoʻomehana ʻole a me ka hoʻoheheʻe ʻana.ʻO kēia ke ʻano o ka hoʻoheheʻe ʻana mehana.
ʻO kamīkini hoʻoheheʻe hoʻoheheʻe ʻiaʻO ka hoʻomehana a hoʻoheheʻe ʻia e ka mea hoʻomehana kūpaʻa i nā mea maikaʻi o ka hoʻolālā maʻalahi, ke kumu kūʻai haʻahaʻa a me ka hoʻohana pono.Hiki ke hoʻohana ʻia no ka hoʻoheheʻe ʻana o nā mea me ka helu heheʻe haʻahaʻa, ʻoi loa no ka hana nui me nā koi haʻahaʻa no ka maikaʻi o ka uhi.I kēia manawa, aia nō ka nui o nā kaʻina hana uhi o ka hoʻomehana ʻana a me ka evaporation i hoʻohana ʻia i ka hana ʻana o nā aniani aluminized.
ʻO nā hemahema o ke kumu hoʻoheheʻe evaporation kumu e hoʻoheheʻe ʻia ke ʻano o ka palena kiʻekiʻe loa e hiki ke loaʻa i ka hoʻomehana ʻana, a pōkole hoʻi ke ola lawelawe o ka mea wela.I nā makahiki i hala iho nei, i mea e hoʻomaikaʻi ai i ke ola o ke kumu hoʻoheheʻe kūʻē, ua hoʻohana ka hale hana mea hana i ka conductive ceramic material synthesized e boron nitride me ke ola lōʻihi e like me ke kumu evaporation.Wahi a kahi hōʻike patent Iapana, hiki iā ia ke hoʻohana i nā mea i haku ʻia o 20% ~ 30% boron nitride a me nā mea refractory i hiki ke hoʻohui ʻia me ia e hana i ke kumu evaporation (crucible), a uhi i kona ʻili me kahi papa o zirconium i loaʻa 62% ~ 82%, a ʻo ke koena he mau mea zirconium-silicon alloy.
Ka manawa hoʻouna: Apr-22-2023