Ke kumu o ka hoʻoheheʻe ʻia ʻana o ka vacuum
1、Lako a me ke kino kaʻina o ka momi evaporation uhi
ʻO ka mīkini hoʻoheheʻe evaporation ka mea nui i haku ʻia me ke keʻena a me ka ʻōnaehana evacuation.I loko o ke keʻena hoʻoheheʻe, aia kahi kumu hoʻoheheʻe (ʻo ia hoʻi, ka mea hoʻoheheʻe evaporation), ka substrate a me ke kumu substrate, ka mea hoʻomehana substrate, ka ʻōnaehana exhaust, etc.
Hoʻokomoʻia ka mea hoʻopili i loko o ke kumu evaporation o ke keʻenaʻeleʻele, a ma lalo o nā kūlana kiʻekiʻe, ua hoʻomehanaʻia e ke kumu evaporation e evaporate.Ke ʻoi aku ka nui o ka awelika manuahi o nā molekele mahu ma mua o ka nui o ka laina o ka keʻena vacuum, ma hope o ka puka ʻana o nā ʻātoma a me nā molekala o ka mahu kiʻiʻoniʻoni mai ka ʻili o ke kumu hoʻoheheʻe, ʻaʻole hiki ke pale ʻia e ka hui ʻana o nā molekala a i ʻole nā mana. a hiki pololei i ka ʻili o ka substrate e uhi ʻia.Ma muli o ka haʻahaʻa haʻahaʻa o ka substrate, ʻo nā ʻāpana mahu kiʻiʻoniʻoni condense ma luna ona a hana i kahi kiʻiʻoniʻoni.
I mea e hoʻomaikaʻi ai i ka hoʻopili ʻana o nā molekele evaporation a me ka substrate, hiki ke hoʻāla ʻia ka substrate e ka hoʻomehana kūpono a i ʻole ka hoʻomaʻemaʻe ion.ʻO ka uhi hoʻoheheʻe ʻana i ke kino e hele i kēia mau kaʻina hana mai ka hoʻoheheʻe ʻana i nā mea, ka lawe ʻana i ka waiho ʻana i kahi kiʻiʻoniʻoni.
(1) Me ka hoʻohana ʻana i nā ʻano like ʻole e hoʻololi i nā ʻano ikehu ʻē aʻe i ka ikehu wela, ua wela ka mea kiʻiʻoniʻoni e evaporate a sublimate paha i loko o nā ʻāpana kinoea (nā ʻātoma, nā molekala a i ʻole nā pūʻulu atomika) me kahi nui o ka ikehu (0.1 a 0.3 eV).
(2) Haʻalele nā mea kinoea i ka ʻili o ke kiʻiʻoniʻoni a lawe ʻia i ka ʻili o ka substrate ma kahi wikiwiki o ka neʻe ʻana, me ka ʻole o ka hui ʻana, ma kahi laina pololei.
(3) ʻO nā ʻāpana kinoea e piʻi ana i ka ʻili o ka substrate e hui pū me ka nucleate, a laila ulu aʻe i kahi kiʻiʻoniʻoni paʻa.
(4) Hoʻonohonoho hou ʻana a i ʻole hoʻopaʻa kemika o nā ʻātoma i hana i ke kiʻiʻoniʻoni.
2、Hoʻomaʻamaʻa evaporation
(1) Ka hoʻoheheʻe ʻana mehana
ʻO ka hoʻoheheʻe ʻana i ka hoʻoheheʻe ʻana ʻo ia ka mea maʻalahi a hoʻohana pinepine ʻia i nā mea hoʻoheheʻe me ka helu heheʻe ma lalo o 1500 ℃, nā metala hoʻoheheʻe kiʻekiʻe i ka uea a i ʻole ke ʻano pepa (W, Mo, Ti, Ta, boron nitride, etc.) hana maʻamau i kahi ʻano kūpono o ke kumu hoʻoheheʻe, hoʻopiha ʻia me nā mea evaporation, ma o ka Joule wela o ke au uila e hoʻoheheʻe, evaporate a sublimate paha i ka mea plating, ʻo ke ʻano o ke kumu hoʻoheheʻe e komo pū ana me ka multi-strand spiral, U-shaped, sine wave. , pā lahilahi, waʻa, cone hīnaʻi, etc. Ma ka manawa like, ke ala e pono ai i ka evaporation kumu mea e loaʻa kiʻekiʻe hehee ai wahi, haʻahaʻa saturation mahu puʻe, paʻa kemika waiwai,ʻaʻole i kemika hopena me ka uhi mea ma ke kiʻekiʻe wela. maikaʻi wela kū'ē, liʻiliʻi liʻiliʻi i ka mana mānoanoa, etc. Ua apono kiʻekiʻe o kēia manawa ma o ka evaporation kumu e hoʻomāhana ia a evaporate i ka mea kiʻiʻoniʻoni ma ka hoʻomehana pololei, aiʻole e hoʻokomo i ka mea kiʻiʻoniʻoni i loko o ka crucible i hanaʻia me ka graphite a me kekahi kiʻekiʻe wela kū'ē. metala oxides (e like me A202, B0) a me nā mea ʻē aʻe no ka hoʻomehana ʻole ʻana e mahu.
He mau palena ko nā metala refractory, he paʻakikī ke hana i nā kiʻiʻoniʻoni lahilahi;ua maʻalahi kekahi mau mea e hana i kahi huila me ka uwea hoʻomehana;ʻaʻole maʻalahi ka loaʻa ʻana o kahi ʻano like ʻole o ke kiʻi ʻoniʻoni.Ma muli o ke ʻano maʻalahi, ke kumukūʻai haʻahaʻa a me ka hana maʻalahi o ke ʻano o ka hoʻoheheʻe ʻana i ka wela, he noi maʻamau ia o ke ʻano evaporation.
(2) Electron beam wela evaporation
ʻO ka hoʻoheheʻe ʻia ʻana o ka electron beam he ala ia e hoʻoheheʻe ai i ka mea i uhi ʻia ma o ka hoʻopā ʻana iā ia me kahi kukuna electron hoʻokiʻekiʻe kiʻekiʻe ma ke kau ʻana iā ia i loko o kahi ipu keleawe hoʻoluʻu wai.ʻO ke kumu hoʻoheheʻe ʻia he kumu hoʻoheheʻe electron, kahi kumu mana electron acceleration, kahi crucible (maʻa mau i ka copper crucible), kahi coil magnetic field, a me kahi hoʻonohonoho wai hoʻomaha, a pēlā aku. -cooled crucible, a me ka electron beam bombards wale i ka hapa uuku loa o ka mea, oiai ka hapa nui o ke koena mea i koe ma ka haʻahaʻa loa wela ma lalo o ka cooling hopena o ka crucible, i hiki ke manao e like me ka bombarded hapa o ka crucible.No laila, ʻo ke ʻano o ka hoʻomehana ʻana i ka electron beam no ka evaporation hiki ke pale i ka haumia ma waena o ka mea uhi a me ka mea kumu evaporation.
Hiki ke hoʻokaʻawale ʻia ke ʻano o ke kumu hoʻoheheʻe electron beam i ʻekolu mau ʻano: nā pū pololei (Boules guns), nā pū kani (electrically deflected) a me nā e-gun (magnetically deflected).Hiki ke waiho ʻia hoʻokahi a ʻoi aʻe paha crucibles i loko o kahi hale hoʻoheheʻe, hiki ke hoʻoheheʻe a waiho i nā mea like ʻole i ka manawa like a i ʻole kaʻawale.
Loaʻa i nā kumu hoʻoheheʻe electron beam nā mea maikaʻi.
① Hiki ke loaʻa i ke kumu hoʻoheheʻe hoʻoheheʻe ʻana o ka beam kiʻekiʻe ma mua o ke kumu hoʻomehana kūpaʻa, hiki ke hoʻoheheʻe i nā mea hoʻoheheʻe kiʻekiʻe, e like me W, Mo, Al2O3, etc.
②Hoʻokomo ʻia ka mea i uhi ʻia i loko o kahi pahu keleawe i hoʻoluʻu ʻia i ka wai, hiki ke pale i ka hoʻoheheʻe ʻana o ka mea kumu evaporation, a me ka hopena ma waena o lākou.
③Hiki ke hoʻohui pololei ʻia ka wela i ka ʻili o ka mea i uhi ʻia, kahi e hoʻokiʻekiʻe ai ka maikaʻi o ka wela a me ka nalo ʻana o ka wela a me ka haʻahaʻa haʻahaʻa.
ʻO ka hemahema o ka electron beam heating evaporation method, ʻo nā electron mua mai ka pū electron a me nā electron lua mai ka ʻili o ka mea uhi e hoʻoheheʻe ʻia nā ʻātoma evaporating a me nā molekole kinoea koena, e hoʻopilikia i ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni i kekahi manawa.
(3) High frequency induction heating evaporation
ʻO ka hoʻoheheʻe ʻana i ka wela induction kiʻekiʻe e kau i ka crucible me ka mea uhi i ke kikowaena o ka spiral coil kiʻekiʻe, i mea e hoʻoulu ai ka mea uhi i ka eddy ikaika a me ka hopena hysteresis ma lalo o ka induction o ke kahua electromagnetic kiʻekiʻe. papa kiʻiʻoniʻoni e wela a hiki i ka mahu a me ka mahu.ʻO ke kumu hoʻoheheʻe ma ke ʻano maʻamau i loko o ka wai hoʻoluʻu kiʻekiʻe-frequency coil a me ka graphite a i ʻole ceramic (magnesium oxide, aluminum oxide, boron oxide, etc.) crucible.Hoʻohana ka mana o ka mana kiʻekiʻe i ka pinepine o ka ʻumi tausani a i nā haneli haneli Hz, ʻoi aku ka nui o ka mana komo i nā haneli kilowatts, ʻoi aku ka liʻiliʻi o ka nui o ka mea membrane, ʻoi aku ka kiʻekiʻe o ka induction frequency.Hana ʻia ke alapine coil induction me ka paipu keleawe hoʻoluʻu wai.
ʻO ka hemahema o ke ʻano hoʻoheheʻe wela induction kiʻekiʻe ʻaʻole maʻalahi ka hoʻoponopono maikaʻi ʻana i ka mana hoʻokomo, loaʻa iā ia nā pono aʻe.
①Kiʻekiʻe evaporation rate
② ʻO ka mahana o ke kumu hoʻoheheʻe he ʻano like a paʻa, no laila ʻaʻole maʻalahi ka hana ʻana i ke ʻano o ka uhi ʻana i nā droplets splash, a hiki ke pale aku i ke ʻano o nā pinholes ma ke kiʻi i waiho ʻia.
③Hoʻouka ʻia ke kumu hoʻoheheʻe i hoʻokahi manawa, a maʻalahi ka maʻalahi a maʻalahi hoʻi e hoʻokele.
Ka manawa hoʻouna: Oct-28-2022