Hoʻohana ʻia nā mea hoʻomaʻemaʻe plasma vacuum i ka hoʻohui ʻia, hoʻolako ʻia me ka ʻōnaehana hoʻomaʻemaʻe RF ion, ka mana piha piha, ka hana maʻalahi a me ka mālama.
Hiki i ka RF high-frequency generator ke hoʻoulu i ka plasma kiʻekiʻe, hoʻoulu, etch a me ka lehu i ka ʻili o ka mea hana, e hoʻopau pono i ka lepo a me ka momona ma ka ʻili o ka huahana, hoʻokuʻu i ke koʻikoʻi o ka ʻili, a loaʻa nā hoʻololi like ʻole ma ka ʻili o ka mea hana.
He mea pili ia i ka lāʻau, aniani, ceramic, metala a me nā huahana ʻē aʻe, a hoʻohana ʻia i nā microelectronics, LCD, LED, LCM, PCB circuit board, semiconductor packaging, nā mea lapaʻau, nā hoʻokolohua ʻepekema ola a me nā ʻano ʻē aʻe.