प्लाज्मा प्रत्यक्ष पोलीमराइजेशन प्रक्रिया

प्लाज्मा प्रत्यक्ष पोलीमराइजेशन प्रक्रिया

प्लाज्मा पोलीमराइजेशन की प्रक्रिया आंतरिक इलेक्ट्रोड पोलीमराइजेशन उपकरण और बाहरी इलेक्ट्रोड पोलीमराइजेशन उपकरण दोनों के लिए अपेक्षाकृत सरल है, लेकिन प्लाज्मा पोलीमराइजेशन में पैरामीटर चयन अधिक महत्वपूर्ण है, क्योंकि प्लाज्मा पोलीमराइजेशन के दौरान मापदंडों का पॉलिमर फिल्मों की संरचना और प्रदर्शन पर अधिक प्रभाव पड़ता है।

प्रत्यक्ष प्लाज्मा पोलीमराइजेशन के लिए ऑपरेशन चरण इस प्रकार हैं:

(1) वैक्यूमिंग

वैक्यूम स्थितियों के तहत पोलीमराइजेशन की पृष्ठभूमि वैक्यूम को 1.3×10-1Pa तक पंप किया जाना चाहिए।पोलीमराइज़ेशन प्रतिक्रियाओं के लिए जिन्हें ऑक्सीजन या नाइट्रोजन सामग्री को नियंत्रित करने के लिए विशेष आवश्यकताओं की आवश्यकता होती है, पृष्ठभूमि वैक्यूम की आवश्यकता और भी अधिक होती है।

(2) चार्ज प्रतिक्रिया मोनोमर या वाहक गैस और मोनोमर की मिश्रित गैस

वैक्यूम डिग्री 13-130Pa है.प्लाज्मा पोलीमराइजेशन के लिए आवश्यक कार्य के लिए उपयुक्त प्रवाह नियंत्रण मोड और प्रवाह दर का चयन किया जाएगा, आम तौर पर 10.100 एमएल/मिनट।प्लाज्मा में, मोनोमर अणु ऊर्जावान कणों की बमबारी से आयनित और अलग हो जाते हैं, जिसके परिणामस्वरूप आयन और सक्रिय जीन जैसे सक्रिय कण बनते हैं।प्लाज्मा द्वारा सक्रिय सक्रिय कण गैस चरण और ठोस चरण के इंटरफेस पर प्लाज्मा पोलीमराइजेशन से गुजर सकते हैं।मोनोमर प्लाज्मा पोलीमराइजेशन के लिए अग्रदूत का स्रोत है, और इनपुट प्रतिक्रिया गैस और मोनोमर में कुछ शुद्धता होनी चाहिए।

(3) उत्तेजना बिजली आपूर्ति का चयन

पोलीमराइजेशन के लिए प्लाज्मा वातावरण प्रदान करने के लिए डीसी, उच्च-आवृत्ति, आरएफ, या माइक्रोवेव पावर स्रोतों का उपयोग करके प्लाज्मा उत्पन्न किया जा सकता है।बिजली आपूर्ति का चयन पॉलिमर की संरचना और प्रदर्शन की आवश्यकताओं के आधार पर निर्धारित किया जाता है।

(4) डिस्चार्ज मोड का चयन

पॉलिमर आवश्यकताओं के लिए, प्लाज्मा पोलीमराइजेशन दो डिस्चार्ज मोड चुन सकता है: निरंतर डिस्चार्ज या पल्स डिस्चार्ज।

(5) डिस्चार्ज मापदंडों का चयन

प्लाज्मा पोलीमराइजेशन का संचालन करते समय, डिस्चार्ज मापदंडों को प्लाज्मा मापदंडों, पॉलिमर गुणों और संरचना आवश्यकताओं से विचार करने की आवश्यकता होती है।पोलीमराइजेशन के दौरान लागू शक्ति का परिमाण निर्वात कक्ष की मात्रा, इलेक्ट्रोड आकार, मोनोमर प्रवाह दर और संरचना, पोलीमराइजेशन दर और पॉलिमर संरचना और प्रदर्शन द्वारा निर्धारित किया जाता है।उदाहरण के लिए, यदि प्रतिक्रिया कक्ष की मात्रा 1L है और आरएफ प्लाज्मा पोलीमराइजेशन अपनाया जाता है, तो डिस्चार्ज पावर 10~30W की सीमा में होगी।ऐसी परिस्थितियों में, उत्पन्न प्लाज्मा वर्कपीस की सतह पर एक पतली फिल्म बनाने के लिए एकत्रित हो सकता है।प्लाज्मा पोलीमराइजेशन फिल्म की वृद्धि दर बिजली आपूर्ति, मोनोमर प्रकार और प्रवाह दर और प्रक्रिया स्थितियों के साथ भिन्न होती है।आम तौर पर, वृद्धि दर 100nm/min~1um/min होती है।

(6) प्लाज्मा पोलीमराइजेशन में पैरामीटर माप

प्लाज्मा पोलीमराइजेशन में मापे जाने वाले प्लाज्मा मापदंडों और प्रक्रिया मापदंडों में शामिल हैं: डिस्चार्ज वोल्टेज, डिस्चार्ज करंट, डिस्चार्ज आवृत्ति, इलेक्ट्रॉन तापमान, घनत्व, प्रतिक्रिया समूह प्रकार और एकाग्रता, आदि।

——यह लेख गुआंग्डोंग झेनहुआ ​​टेक्नोलॉजी द्वारा जारी किया गया थाऑप्टिकल कोटिंग मशीनों के निर्माता.