स्पटरिंग कोटिंग मशीन की प्रक्रिया प्रवाह

1. बमबारी सफाई सब्सट्रेट

1.1) स्पटरिंग कोटिंग मशीन सब्सट्रेट को साफ करने के लिए ग्लो डिस्चार्ज का उपयोग करती है।कहने का तात्पर्य यह है कि आर्गन गैस को चैम्बर में चार्ज करें, डिस्चार्ज वोल्टेज लगभग 1000V है, बिजली की आपूर्ति चालू करने के बाद, एक ग्लो डिस्चार्ज उत्पन्न होता है, और सब्सट्रेट को आर्गन आयन बमबारी द्वारा साफ किया जाता है।

1.2) स्पटरिंग कोटिंग मशीनों में जो औद्योगिक रूप से उच्च-स्तरीय आभूषणों का उत्पादन करती हैं, छोटे चाप स्रोतों द्वारा उत्सर्जित टाइटेनियम आयनों का उपयोग ज्यादातर सफाई के लिए किया जाता है।स्पटरिंग कोटिंग मशीन एक छोटे आर्क स्रोत से सुसज्जित है, और छोटे आर्क स्रोत डिस्चार्ज द्वारा उत्पन्न आर्क प्लाज्मा में टाइटेनियम आयन स्ट्रीम का उपयोग बमबारी और सब्सट्रेट को साफ करने के लिए किया जाता है।

2. टाइटेनियम नाइट्राइड कोटिंग

टाइटेनियम नाइट्राइड पतली फिल्मों को जमा करते समय, स्पटरिंग के लिए लक्ष्य सामग्री टाइटेनियम लक्ष्य है।लक्ष्य सामग्री स्पटरिंग बिजली आपूर्ति के नकारात्मक इलेक्ट्रोड से जुड़ी है, और लक्ष्य वोल्टेज 400 ~ 500V है;आर्गन फ्लक्स स्थिर है, और नियंत्रण वैक्यूम (3~8) x10 है^-1पीए.सब्सट्रेट 100~200V के वोल्टेज के साथ बायस बिजली आपूर्ति के नकारात्मक इलेक्ट्रोड से जुड़ा हुआ है।

स्पटरिंग टाइटेनियम लक्ष्य की बिजली आपूर्ति चालू करने के बाद, एक चमक निर्वहन उत्पन्न होता है, और उच्च-ऊर्जा आर्गन आयन स्पटरिंग लक्ष्य पर बमबारी करते हैं, लक्ष्य से टाइटेनियम परमाणुओं को स्पटरिंग करते हैं।

प्रतिक्रिया गैस नाइट्रोजन को पेश किया जाता है, और टाइटेनियम परमाणुओं और नाइट्रोजन को कोटिंग कक्ष में टाइटेनियम आयनों और नाइट्रोजन आयनों में आयनित किया जाता है।सब्सट्रेट पर लागू नकारात्मक पूर्वाग्रह विद्युत क्षेत्र के आकर्षण के तहत, टाइटेनियम आयन और नाइट्रोजन आयन रासायनिक प्रतिक्रिया और जमाव के लिए टाइटेनियम नाइट्राइड फिल्म परत बनाने के लिए सब्सट्रेट की सतह पर तेजी लाते हैं।

3. सब्सट्रेट को बाहर निकालें

पूर्व निर्धारित फिल्म मोटाई तक पहुंचने के बाद, स्पटरिंग बिजली की आपूर्ति, सब्सट्रेट बायस बिजली की आपूर्ति और वायु स्रोत को बंद कर दें।सब्सट्रेट का तापमान 120 ℃ से कम होने के बाद, कोटिंग कक्ष को हवा से भरें और सब्सट्रेट को बाहर निकालें।

यह लेख द्वारा प्रकाशित किया गया हैमैग्नेट्रोन स्पटरिंग कोटिंग मशीन निर्माता- गुआंग्डोंग झेनहुआ।