खोखले कैथोड आयन कोटिंग की प्रक्रिया

खोखले कैथोड आयन कोटिंग की प्रक्रिया इस प्रकार है:

1、चिन सिल्लियां को पतन में रखें।

2、वर्कपीस को माउंट करना।

3、5×10-3Pa तक निकासी के बाद, आर्गन गैस को सिल्वर ट्यूब से कोटिंग कक्ष में पेश किया जाता है, और वैक्यूम स्तर लगभग 100Pa होता है।

4、बायस पावर चालू करें।

5、खोखले कैथोड डिस्चार्ज को प्रज्वलित करने के लिए आर्क पावर को चालू करने के बाद। बटन ट्यूब में ग्लो डिस्चार्ज उत्पन्न होता है, डिस्चार्ज वोल्टेज 800~1000V है, आर्क-राइजिंग करंट 30~50A है। चमक के खोखले कैथोड प्रभाव के कारण डिस्चार्ज, उच्च चमक डिस्चार्ज वर्तमान घनत्व, सिल्वर ट्यूब में चूहे आयनों का उच्च घनत्व सुविधाजनक ट्यूब की दीवार पर बमबारी करता है, ट्यूब की दीवार को इलेक्ट्रॉन प्रवाह के उत्सर्जन के लिए तेजी से गर्म करता है, ग्लो डिस्चार्ज से डिस्चार्ज मोड अचानक बदल जाता है आर्क डिस्चार्ज, वोल्टेज 40~70V है, करंट 80~300A है। सिल्वर ट्यूब का तापमान 2300K से ऊपर पहुंच जाता है, गरमागरम, ट्यूब से आर्क इलेक्ट्रॉनों की एक उच्च घनत्व धारा उत्सर्जित करता है, और एनोड पर शॉट करता है।

6、वैक्यूम स्तर का समायोजन। खोखले कैथोड गन से ग्लो डिस्चार्ज के लिए वैक्यूम स्तर लगभग 100 Pa है, और कोटिंग की वैक्यूम डिग्री 8×10-1~2Pa है। इसलिए, आर्क डिस्चार्ज के प्रज्वलन के बाद, आने वाले आर्गन को कम करें जितनी जल्दी हो सके गैस, वैक्यूम स्तर को कोटिंग के लिए उपयुक्त सीमा तक समायोजित करें।

7、टाइटेनियम प्लेटेड आधार परत। एनोडिक रूप से ढही हुई चिन धातु पिंड पर इलेक्ट्रॉन प्रवाह, गतिज ऊर्जा को थर्मल ऊर्जा में परिवर्तित करना, गर्म करके चिन धातु का वाष्पीकरण, वाष्प परमाणु एक टाइटेनियम फिल्म बनाने के लिए वर्कपीस तक पहुंचते हैं।

8、TiN का जमाव। नाइट्रोजन गैस को कोटिंग कक्ष में आपूर्ति की जाती है, नाइट्रोजन गैस और वाष्पित परमाणुओं को नाइट्रोजन और टाइटेनियम आयनों में आयनित किया जाता है। क्रूसिबल के ऊपर, कम ऊर्जा वाले इलेक्ट्रॉनों की घनी धाराओं के साथ टाइटेनियम वाष्प परमाणुओं के अकुशल टकराव की उच्च संभावना, धातु पृथक्करण दर 20% ~ 40% जितनी अधिक है, टाइटेनियम आयन प्रतिक्रिया गैस नाइट्रोजन के साथ रासायनिक रूप से प्रतिक्रिया करने की अधिक संभावना रखते हैं, एक नाइट्राइड मेंटल फिल्म परत प्राप्त करने के लिए जमाव। खोखली कैथोड बंदूक दोनों वाष्पीकरण स्रोत है, एक अन्य स्रोत है आयनीकरण की। कोटिंग के दौरान, क्रूसिबल के चारों ओर विद्युत चुम्बकीय कुंडल की धारा को भी समायोजित किया जाना चाहिए, इलेक्ट्रॉन बीम को पतन के केंद्र पर केंद्रित करें, इस प्रकार, इलेक्ट्रॉन प्रवाह की शक्ति घनत्व बढ़ जाती है।

9、पावर बंद। फिल्म की मोटाई पूर्व निर्धारित फिल्म मोटाई तक पहुंचने के बाद, आर्क पावर सप्लाई, बायस पावर सप्लाई और वायु आपूर्ति बंद करें।