कैथोडिक आर्क स्रोत आयन कोटिंग की प्रक्रिया मूल रूप से अन्य कोटिंग प्रौद्योगिकियों के समान है, और वर्कपीस स्थापित करने और वैक्यूमिंग जैसे कुछ ऑपरेशन अब दोहराए नहीं जाते हैं।
1. वर्कपीस की बमबारी सफाई
कोटिंग से पहले, आर्गन गैस को 2×10-2Pa के वैक्यूम के साथ कोटिंग कक्ष में पेश किया जाता है।
20% के कर्तव्य चक्र और 800-1000V के वर्कपीस पूर्वाग्रह के साथ, पल्स बायस बिजली आपूर्ति चालू करें।
जब आर्क पावर चालू होती है, तो एक ठंडा क्षेत्र आर्क लाइट डिस्चार्ज उत्पन्न होता है, जो आर्क स्रोत से बड़ी मात्रा में इलेक्ट्रॉन करंट और टाइटेनियम आयन करंट उत्सर्जित करता है, जिससे उच्च घनत्व वाला प्लाज्मा बनता है।टाइटेनियम आयन वर्कपीस पर लागू नकारात्मक उच्च पूर्वाग्रह दबाव के तहत वर्कपीस में अपने इंजेक्शन को तेज करता है, वर्कपीस की सतह पर अवशोषित अवशिष्ट गैस और प्रदूषकों पर बमबारी और छिड़काव करता है, और वर्कपीस की सतह को साफ और शुद्ध करता है;उसी समय, कोटिंग कक्ष में क्लोरीन गैस इलेक्ट्रॉनों द्वारा आयनित होती है, और आर्गन आयन वर्कपीस की सतह पर बमबारी को तेज करते हैं।
इसलिए, बमबारी सफाई प्रभाव अच्छा है।केवल लगभग 1 मिनट की बॉम्बार्डमेंट सफाई से वर्कपीस को साफ किया जा सकता है, जिसे "मेन आर्क बॉम्बार्डमेंट" कहा जाता है।टाइटेनियम आयनों के उच्च द्रव्यमान के कारण, यदि वर्कपीस पर बहुत लंबे समय तक बमबारी और सफाई करने के लिए एक छोटे चाप स्रोत का उपयोग किया जाता है, तो वर्कपीस का तापमान अधिक गर्म होने का खतरा होता है, और उपकरण का किनारा नरम हो सकता है।सामान्य उत्पादन में, छोटे आर्क स्रोतों को ऊपर से नीचे तक एक-एक करके चालू किया जाता है, और प्रत्येक छोटे आर्क स्रोत पर लगभग 1 मिनट का बमबारी सफाई समय होता है।
(1) कोटिंग टाइटेनियम निचली परत
फिल्म और सब्सट्रेट के बीच आसंजन को बेहतर बनाने के लिए, आमतौर पर टाइटेनियम नाइट्राइड कोटिंग से पहले शुद्ध टाइटेनियम सब्सट्रेट की एक परत लेपित की जाती है।वैक्यूम स्तर को 5×10-2-3×10-1Pa पर समायोजित करें, वर्कपीस बायस वोल्टेज को 400-500V पर समायोजित करें, और पल्स बायस बिजली आपूर्ति के कर्तव्य चक्र को 40%~50% पर समायोजित करें।शीत क्षेत्र आर्किंग डिस्चार्ज उत्पन्न करने के लिए अभी भी छोटे आर्क स्रोतों को एक-एक करके प्रज्वलित किया जा रहा है।वर्कपीस के नकारात्मक बायस वोल्टेज में कमी के कारण टाइटेनियम आयनों की ऊर्जा कम हो जाती है।वर्कपीस तक पहुंचने के बाद, स्पटरिंग प्रभाव जमाव प्रभाव से कम होता है, और टाइटेनियम नाइट्राइड हार्ड फिल्म परत और सब्सट्रेट के बीच संबंध बल में सुधार करने के लिए वर्कपीस पर एक टाइटेनियम संक्रमण परत बनाई जाती है।यह प्रक्रिया वर्कपीस को गर्म करने की प्रक्रिया भी है।जब शुद्ध टाइटेनियम लक्ष्य को डिस्चार्ज किया जाता है, तो प्लाज्मा में प्रकाश नीला नीला होता है।
1.अमोनीकृत कटोरा हार्ड फिल्म कोटिंग
वैक्यूम डिग्री को 3×10 पर समायोजित करें-1-5Pa, वर्कपीस बायस वोल्टेज को 100-200V पर समायोजित करें, और पल्स बायस बिजली आपूर्ति के कर्तव्य चक्र को 70% ~ 80% पर समायोजित करें।नाइट्रोजन पेश करने के बाद, टाइटेनियम, टाइटेनियम नाइट्राइड हार्ड फिल्म को जमा करने के लिए आर्क डिस्चार्ज प्लाज्मा के साथ संयोजन प्रतिक्रिया करता है।इस बिंदु पर, निर्वात कक्ष में प्लाज्मा का प्रकाश चेरी लाल होता है।यदि सी2H2, ओ2, आदि पेश किए गए हैं, TiCN, TiO2, आदि फिल्म परतें प्राप्त की जा सकती हैं।
-यह लेख गुआंग्डोंग झेनहुआ द्वारा जारी किया गया थावैक्यूम कोटिंग मशीन निर्माता
पोस्ट समय: जून-01-2023