वैक्यूम कोटिंग मशीन प्रक्रियाएँ क्या हैं?कार्य सिद्धांत क्या है?

वैक्यूम कोटिंगमशीन प्रक्रिया को विभाजित किया गया है: वैक्यूम वाष्पीकरण कोटिंग, वैक्यूम स्पटरिंग कोटिंग और वैक्यूम आयन कोटिंग।

1、वैक्यूम वाष्पीकरण कोटिंग

वैक्यूम स्थिति के तहत, सामग्री को वाष्पित करें, जैसे धातु, धातु मिश्र धातु, आदि, फिर उन्हें सब्सट्रेट सतह पर जमा करें, वाष्पीकरण कोटिंग विधि अक्सर प्रतिरोध हीटिंग का उपयोग करती है, और फिर कोटिंग सामग्री के इलेक्ट्रॉन बीम बमबारी, उन्हें बनाती है गैस चरण में वाष्पित हो जाता है, फिर सब्सट्रेट सतह पर जमा हो जाता है, ऐतिहासिक रूप से, वैक्यूम वाष्प जमाव पीवीडी विधि में उपयोग की जाने वाली पहले की तकनीक है।

2、स्पटरिंग कोटिंग

गैस को (Ar)-भरे निर्वात स्थितियों के तहत एक चमक निर्वहन के अधीन किया जाता है, इस समय आर्गन (Ar) परमाणु आयन नाइट्रोजन आयनों (Ar) में बदल जाते हैं, आयन विद्युत क्षेत्र के बल से त्वरित होते हैं, और कैथोड लक्ष्य पर बमबारी करते हैं जो कोटिंग सामग्री से बना है, लक्ष्य को बाहर निकाला जाएगा और सब्सट्रेट सतह पर जमा किया जाएगा, स्पटर कोटिंग में घटना आयन, आम तौर पर चमक निर्वहन द्वारा प्राप्त होते हैं, 10-2pa से 10Pa की सीमा में होते हैं, इसलिए थूके हुए कणों का टकराना आसान होता है निर्वात कक्ष में गैस अणुओं के साथ जब सब्सट्रेट की ओर उड़ान भरते हैं, तो गति की दिशा यादृच्छिक हो जाती है और जमा फिल्म को एक समान बनाना आसान हो जाता है।

3、आयन कोटिंग

वैक्यूम स्थितियों के तहत, वैक्यूम स्थितियों के तहत, कोटिंग सामग्री परमाणुओं को आंशिक रूप से आयनों में आयनित करने के लिए एक निश्चित प्लाज्मा आयनीकरण तकनीक का उपयोग किया जाता है। साथ ही कई उच्च ऊर्जा तटस्थ परमाणु उत्पन्न होते हैं, जो सब्सट्रेट पर नकारात्मक रूप से पक्षपाती होते हैं। इस तरह, आयन एक पतली फिल्म बनाने के लिए गहरे नकारात्मक पूर्वाग्रह के तहत सब्सट्रेट सतह पर जमा किया जाता है।