प्रतिरोध वाष्पीकरण स्रोत कोटिंग एक बुनियादी वैक्यूम वाष्पीकरण कोटिंग विधि है। "वाष्पीकरण" एक पतली फिल्म तैयार करने की विधि को संदर्भित करता है जिसमें वैक्यूम कक्ष में कोटिंग सामग्री को गर्म किया जाता है और वाष्पित किया जाता है, ताकि सामग्री परमाणु या अणु वाष्पीकृत हो जाएं और सतह से बच जाएं, वाष्प प्रवाह घटना का निर्माण करें, सब्सट्रेट या सब्सट्रेट की सतह पर घटना करें, और अंत में एक ठोस फिल्म बनाने के लिए संघनित हों।
तथाकथित प्रतिरोध वाष्पीकरण स्रोत कोटिंग विधि में वाष्पीकरण स्रोत का एक उपयुक्त आकार बनाने के लिए टैंटलम, मोलिब्डेनम, टंगस्टन और अन्य उच्च गलनांक धातुओं का उपयोग करना है, जिसे वाष्पित होने वाली सामग्रियों से भरा जाता है, हवा को बहने दिया जाता है, वाष्पित होने वाली सामग्रियों को सीधे गर्म करके वाष्पित किया जाता है, या वाष्पित होने वाली सामग्रियों को अप्रत्यक्ष हीटिंग और वाष्पीकरण के लिए एल्यूमिना, बेरिलियम ऑक्साइड और अन्य क्रूसिबल में रखा जाता है। यह प्रतिरोध हीटिंग वाष्पीकरण विधि है।
वैक्यूम वाष्पीकरण कोटिंग मशीनप्रतिरोध हीटर द्वारा गर्म और वाष्पित करने में सरल संरचना, कम लागत और विश्वसनीय उपयोग के फायदे हैं। इसका उपयोग कम गलनांक वाली सामग्रियों के वाष्पीकरण कोटिंग के लिए किया जा सकता है, विशेष रूप से कोटिंग की गुणवत्ता के लिए कम आवश्यकताओं के साथ बड़े पैमाने पर उत्पादन के लिए। अब तक, एल्युमिनाइज्ड दर्पणों के उत्पादन में प्रतिरोध हीटिंग और वाष्पीकरण की बड़ी संख्या में कोटिंग प्रक्रियाएं उपयोग में लाई गई हैं।
प्रतिरोध वाष्पीकरण स्रोत वाष्पीकरण कोटिंग विधि के नुकसान यह हैं कि हीटिंग द्वारा प्राप्त किया जा सकने वाला अधिकतम तापमान सीमित है, और हीटर का सेवा जीवन भी छोटा है। हाल के वर्षों में, प्रतिरोध वाष्पीकरण स्रोत के जीवन को बेहतर बनाने के लिए, उपकरण कारखाने ने वाष्पीकरण स्रोत के रूप में लंबे जीवन के साथ बोरॉन नाइट्राइड द्वारा संश्लेषित प्रवाहकीय सिरेमिक सामग्री को अपनाया है। एक जापानी पेटेंट रिपोर्ट के अनुसार, यह वाष्पीकरण स्रोत (क्रूसिबल) बनाने के लिए 20% ~ 30% बोरॉन नाइट्राइड और आग रोक सामग्री से बनी सामग्री का उपयोग कर सकता है जिसे इसके साथ जोड़ा जा सकता है, और इसकी सतह को 62% ~ 82% युक्त जिरकोनियम की एक परत के साथ कोट किया जाता है, और बाकी जिरकोनियम-सिलिकॉन मिश्र धातु सामग्री होती है।
पोस्ट करने का समय: अप्रैल-22-2023