आरसीडब्ल्यू600

उपकरणों की यह श्रृंखला कोटिंग सामग्री को नैनोमीटर आकार के कणों में परिवर्तित करने के लिए मैग्नेट्रोन लक्ष्यों का उपयोग करती है, जो पतली फिल्म बनाने के लिए सब्सट्रेट की सतह पर जमा होते हैं।रोल्ड फिल्म को निर्वात कक्ष में रखा जाता है।विद्युत चालित घुमावदार संरचना के माध्यम से, एक छोर फिल्म को प्राप्त करता है और दूसरा फिल्म डालता है।यह लक्ष्य क्षेत्र से गुजरता रहता है और लक्ष्य कणों को प्राप्त कर एक सघन फिल्म बनाता है।
विशेषता:

1. कम तापमान वाली फिल्म बनाना।तापमान का फिल्म पर बहुत कम प्रभाव पड़ता है और विरूपण उत्पन्न नहीं होगा।यह पीईटी, पीआई और अन्य बेस मटेरियल कॉइल फिल्मों के लिए उपयुक्त है।
2. फिल्म की मोटाई डिज़ाइन की जा सकती है।प्रक्रिया समायोजन द्वारा पतली या मोटी कोटिंग को डिज़ाइन और जमा किया जा सकता है।
3. एकाधिक लक्ष्य स्थान डिजाइन, लचीली प्रक्रिया।पूरी मशीन को आठ लक्ष्यों से सुसज्जित किया जा सकता है, जिनका उपयोग साधारण धातु लक्ष्य या यौगिक और ऑक्साइड लक्ष्य के रूप में किया जा सकता है।इसका उपयोग एकल संरचना वाली सिंगल-लेयर फिल्में या मिश्रित संरचना वाली मल्टी-लेयर फिल्में तैयार करने के लिए किया जा सकता है।यह प्रक्रिया बहुत लचीली है.

उपकरण विद्युत चुम्बकीय परिरक्षण फिल्म, लचीली सर्किट बोर्ड कोटिंग, विभिन्न ढांकता हुआ फिल्में, मल्टी-लेयर एआर एंटीरफ्लेक्शन फिल्म, एचआर उच्च एंटीरफ्लेक्शन फिल्म, रंगीन फिल्म इत्यादि तैयार कर सकता है। उपकरण में अनुप्रयोगों की एक बहुत विस्तृत श्रृंखला है, और सिंगल-लेयर फिल्म जमाव है। एक बार की फिल्म जमाव द्वारा पूरा किया जा सकता है।
उपकरण साधारण धातु लक्ष्य जैसे Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl इत्यादि, या मिश्रित लक्ष्य जैसे SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO इत्यादि अपना सकते हैं।

उपकरण आकार में छोटा, संरचना डिजाइन में कॉम्पैक्ट, फर्श क्षेत्र में छोटा, ऊर्जा खपत में कम और समायोजन में लचीला है।यह प्रक्रिया अनुसंधान और विकास या छोटे बैच बड़े पैमाने पर उत्पादन के लिए बहुत उपयुक्त है।