1, Thaum cov khoom siv nqus tsev vacuum, xws li li qub, ntxiab, cov khoom siv plua plav thiab lub tshuab nqus tsev sib txuas, lawv yuav tsum sim ua kom lub raj xa dej luv luv, cov lus qhia ntawm cov kav dej yog qhov loj, thiab txoj kab uas hla ntawm cov kav dej yog feem ntau. tsis me dua li txoj kab uas hla ntawm lub twj tso kua mis qhov chaw nres nkoj, uas yog ib qho tseem ceeb hauv paus ntsiab lus ntawm kev tsim system.Tab sis tib lub sij hawm xav txog lub installation thiab txij nkawm yooj yim.Qee zaum, txhawm rau tiv thaiv kev vibration thiab txo cov suab nrov, lub tshuab twj tso kua mis tso cai rau muab tso rau hauv chav twj tso kua mis ze ntawm lub tshuab nqus tsev.
2, txhua yam twj tso kua mis (xws li hauv paus twj tso kua mis) muaj kev co, tiv thaiv kev co ntawm tag nrho cov system, feem ntau txo kev co nrog ib tug hose.Lub hose muaj ob hom, hlau thiab tsis-hlau, tsis hais hom hose, peb yuav tsum xyuas kom meej tias lub atmospheric siab tsis deflated.
3, Tom qab lub tshuab nqus tsev yog tsim, nws yuav tsum yooj yim rau kev ntsuas thiab xau kom pom.Kev xyaum ua ntau lawm qhia peb tias lub tshuab nqus tsev feem ntau yooj yim rau xau thiab cuam tshuam rau kev tsim khoom hauv cov txheej txheem ua haujlwm.Yuav kom nrhiav tau lub qhov dej xau sai, nws yog ib qho tsim nyog yuav tsum tau ua qhov kev ntsuam xyuas cov pa xau, yog li yuav tsum muaj tsawg kawg yog ib qho ntsuas hauv txhua lub sijhawm kaw los ntawm lub valve rau ntsuas thiab ntsuas qhov xau.
4, Cov kav dej thiab cov kav dej tau teeb tsa hauv lub tshuab nqus tsev yuav tsum ua kom lub sijhawm siv lub sijhawm luv, yooj yim siv, nyab xeeb thiab txhim khu kev qha.Feem ntau, nyob rau hauv lub kaw lus nrog ib tug vapor flow twj tso kua mis raws li lub ntsiab twj tso kua mis (diffusion twj tso kua mis los yog roj booster twj), thiab ib tug neeg kho tshuab twj tso kua mis raws li lub pre-theem twj tso kua mis, ntxiv rau lub pre-vacuum pipelines (pipelines ntawm chav dej ntws twj tso kua mis nyob rau hauv series nrog rau cov twj tso kua mis pre-theem twj tso kua mis, thiab ib tug pre-vacuum pipeline). mechanical twj) yuav tsum muaj lub raj xa dej ua ntej (pipeline ntawm lub tshuab nqus tsev rau cov twj siv tshuab).Tom ntej no, muaj lub tshuab nqus tsev siab (tseem hu ua lub ntsiab valve) nruab nrab ntawm lub tshuab nqus tsev thiab lub twj tso kua mis, thiab lub raj xa dej ua ntej (tseem hu ua lub tshuab nqus tsev vacuum) ntawm cov kav dej ua ntej;muaj ib lub tshuab nqus tsev vacuum valve (hu ua low vacuum valve) nyob rau hauv lub pre-vacuum pipeline.Lub tshuab nqus tsev siab ntawm lub twj tso kua mis loj feem ntau tsis tuaj yeem qhib hauv qab lub hau npog hauv lub tshuab nqus tsev thiab ntawm lub valve npog hauv lub xeev atmospheric siab, uas yuav tsum tau ua kom muaj kev cuam tshuam hluav taws xob kom muaj kev nyab xeeb.Lub pre-stage pipeline valve thiab pre-vacuum pipeline valve yuav tsum tau txiav txim siab tias lub valve nws tus kheej tuaj yeem qhib nyob rau hauv huab cua.Rau lub tshuab nqus tsev nrog vapor flow twj tso kua mis raws li lub ntsiab twj tso kua mis, lub ntsiab valve yuav tsum tau them rau lub ntsiab twj tso kua mis, lub pre-theem piping valve yuav tsum tau them rau lub ntsiab twj tso kua mis thiab lub pre-vacuum yeeb nkab valve yuav tsum tau them rau lub tshuab nqus tsev chamber. .Nyob rau hauv cov yeeb nkab inlet ntawm txhua yam twj tso kua mis, yuav tsum muaj ib tug deflation valve.Thaum lub tshuab twj tso kua mis tsis ua haujlwm, lub valve no tuaj yeem qhib tam sim ntawd kom ua rau lub tshuab twj tso kua mis nkag mus rau qhov chaw thiab tiv thaiv cov twj siv twj tso kua mis los ntawm kev ntws rov qab mus rau hauv cov kav dej, yog li lub valve yuav tsum tau txuas nrog lub tshuab twj tso kua mis.Lub tshuab nqus tsev yuav tsum tau teeb tsa lub deflation valve, rau kev thauj khoom thiab nqa khoom.Txoj hauj lwm ntawm lub valve yuav tsum coj mus rau hauv tus account qhov loj impulse ntawm cov pa thaum deflating, los tiv thaiv cov tsis muaj zog Cheebtsam nyob rau hauv lub nqus tsev vacuum chamber los ntawm kev puas tsuaj los ntawm lub impulse ntau dhau.Qhov loj ntawm deflation valve muaj feem xyuam rau lub ntim ntawm lub tshuab nqus tsev chamber, thiab nws yuav tsum tau txiav txim siab tias lub sij hawm deflation yuav tsum tsis txhob ntev dhau thiab cuam tshuam rau kev ua haujlwm.
5, Kev tsim lub tshuab nqus tsev yuav tsum ua kom ruaj khov thiab txhim khu kev qha, kev yooj yim installation, disassembly thiab txij nkawm, kev ua haujlwm yooj yim, thiab kev sib hloov ntawm kev sib txuas ntawm cov khoom.Txhawm rau kom ua tiav cov pa tso pa ruaj khov, lub twj tso kua mis loj yuav tsum ruaj khov, cov li qub yuav tsum yoog raws thiab txhim khu kev qha, cov khoom sib txuas ntawm txhua yam hauv lub cev yuav tsum tsis txhob xau, lub tshuab nqus tsev yuav tsum muaj kev sib khi zoo, thiab kev sib txuas ntawm lub tshuab nqus tsev. yuav tsum yog tus qauv loj los xyuas kom meej interchangeability.Raws li txoj cai, hauv kev tsim lub tshuab nqus tsev, txhua qhov kaw cov yeeb nkab loj yuav tsum muaj qhov hloov tau.Yav dhau los, qhov kev hloov pauv loj no tau daws los ntawm kev siv hose, tab sis tam sim no, feem ntau ntawm cov tshuab tau tsim tsis muaj hoses.Hloov chaw, cov teeb meem kev teeb tsa raug daws los ntawm kev txhim kho qhov tseeb ntawm lub tshuab nqus tsev ua haujlwm loj thiab siv lub nplhaib roj hmab sealing ntawm qhov sib txuas flange, uas tuaj yeem txhim kho lub zog thiab nruj ntawm lub cev, txo cov bracket siv rau hauv lub cev thiab ua kom nws zoo nkauj dua. .
6, Kev siv thev naus laus zis tshiab yuav tsum raug coj los siv hauv kev tsim lub tshuab nqus tsev kom ua tiav kev tswj tsis siv neeg thiab kev tiv thaiv kev cuam tshuam.Nrog rau txoj kev loj hlob ntawm lub tshuab nqus tsev, nws yuav tsum muaj peev xwm ua haujlwm tau zoo nyob rau hauv tag nrho cov twj tso kua mis, xws li siv lub tshuab nqus tsev relay los tswj lub hauv paus twj tso kua mis pib ua hauj lwm ntawm 1333Pa siab.Cov dej siab relay yog siv los tswj cov dej siab ntawm lub vapor ntws twj tso kua mis ntawm ib qho kev siab, thiab thaum cov dej siab tsis txaus los yog txiav tawm, nws tuaj yeem txiav tawm lub hwj chim tam sim ntawd thiab teeb tsa lub tswb.Tiv thaiv lub twj tso kua mis kom tsis txhob hlawv.Rau lub tshuab nqus tsev thiab cov txheej txheem, cov kev txwv nruj ntawm cov khoom siv yuav tsum tau tswj los ntawm microcomputer program, muaj kev nyab xeeb thiab txhim khu kev qha.
7, Kev tsim lub tshuab nqus tsev yuav tsum tau txuag lub zog, txo tus nqi, siv tau yooj yim thiab txhim khu kev qha.Ua qhov no muaj qhov tseem ceeb ntawm kev lag luam, uas tuaj yeem ua rau cov khoom siv nqus tsev tsim muaj kev muag khoom dav.
Magnetron txheej khoom siv nruab nrab zaus magnetron sputtering thiab multi-arc ion ua ke tshuab, uas yog tsim rau yas, iav, ceramic, kho vajtse thiab lwm yam khoom, xws li iav, watches, xov tooj ntawm tes accessories, electronics, siv lead ua iav, thiab lwm yam. adhesion, repeatability, ntom thiab uniformity ntawm cov zaj duab xis txheej yog zoo, thiab nws muaj cov yam ntxwv ntawm loj tso zis thiab siab khoom yield.
Feem ntau siv hauv cov xov tooj ntawm tes nrog cov yawm sij hlau, cov neeg tuav daim npav, nruab nrab ncej coated kub, sawv kub, dub, gunmetal dub thiab xiav.
Post lub sij hawm: Nov-07-2022