Kev ua tau zoo ntawm ntau lub tshuab nqus tsev twj muaj lwm qhov sib txawv dua li lub peev xwm los nqus lub tshuab nqus tsev mus rau lub chamber.Yog li ntawd, nws yog ib qho tseem ceeb heev kom paub meej txog kev ua hauj lwm los ntawm lub twj tso kua mis hauv lub tshuab nqus tsev thaum xaiv, thiab lub luag hauj lwm ua los ntawm lub twj tso kua mis hauv ntau qhov chaw ua hauj lwm tau sau tseg raws li hauv qab no.
1 、 Ua lub twj tso kua mis loj hauv qhov system
Lub twj tso kua mis tseem ceeb yog lub tshuab nqus tsev twj tso kua mis ncaj qha mus rau lub twj tso kua mis ntawm lub tshuab nqus tsev kom tau txais lub tshuab nqus tsev uas yuav tsum tau ua kom tau raws li cov txheej txheem.
2 、 Lub twj tso kua mis ntxhib
Rough twj tso kua mis yog lub tshuab nqus tsev twj tso kua mis uas pib txo los ntawm huab cua siab thiab lub siab ntawm lub tshuab nqus tsev mus txog rau lwm lub twj tso kua mis uas tuaj yeem pib ua haujlwm.
3, Pre-theem twj tso kua mis
Pre-stage twj tso kua mis yog lub tshuab nqus tsev twj siv los tswj lub siab ua ntej theem ntawm lwm lub twj tso kua mis hauv qab nws qhov siab tshaj plaws tso cai ua ntej-theem siab.
4 、 Tuav twj tso kua mis
Tuav twj tso kua mis yog lub twj tso kua mis uas tsis tuaj yeem siv lub twj tso kua mis ua ntej lub ntsiab thaum lub tshuab nqus tsev twj me me heev.Vim li no, lwm yam kev pabcuam ua ntej lub twj tso kua mis nrog cov twj siv me me yog siv rau hauv lub tshuab nqus tsev kom tswj tau qhov kev ua haujlwm ntawm lub twj tso kua mis loj lossis tswj lub siab qis uas yuav tsum tau muaj los ntawm lub thawv ntim.
5 、 Lub tshuab nqus tsev tsis zoo lossis lub tshuab nqus tsev qis
Rough los yog tsis tshua muaj lub tshuab nqus tsev twj tso kua mis yog lub tshuab nqus tsev twj tso kua mis uas pib los ntawm huab cua thiab ua hauj lwm nyob rau hauv ntau yam uas tsis muaj los yog ntxhib lub tshuab nqus tsev siab tom qab txo lub siab ntawm lub twj tso kua mis.
6 、 Lub tshuab nqus tsev siab
Lub tshuab nqus tsev siab yog hais txog lub tshuab nqus tsev twj ua haujlwm hauv lub tshuab nqus tsev siab.
7, Ultra-siab lub tshuab nqus tsev twj
Ultra-high lub tshuab nqus tsev twj yog hais txog lub tshuab nqus tsev twj ua haujlwm nyob rau hauv ultra-high nqus tsev vacuum.
8. Booster twj tso kua mis
Booster twj feem ntau yog hais txog lub tshuab nqus tsev twj ua haujlwm nruab nrab ntawm lub tshuab nqus tsev twj tso kua mis thiab lub tshuab nqus tsev siab kom nce lub peev xwm ntawm cov twj tso kua mis hauv nruab nrab siab ntau lossis txo qhov kev xav tau ntawm lub twj tso kua mis qub.
Taw qhia rau Ion Cleaner
Plasma Cleaner
1. Plasma yog ib qho roj ionized uas qhov ntom ntom ntawm cov ions zoo thiab cov hluav taws xob muaj kwv yees li sib npaug.Nws muaj ions, electrons, dawb radicals, thiab nruab nrab hais.
2. Nws yog lub xeev plaub.Raws li plasma yog ib qho kev sib xyaw ua ke ntawm lub zog siab dua li roj, cov khoom hauv plasma ib puag ncig tuaj yeem tau txais ntau lub cev thiab lwm yam tshuaj tiv thaiv.
3. plasma tu tshuab mechanism yog tso siab rau "plasma xeev" ntawm cov khoom "ua kom cov nyhuv" tshem tawm cov stains nto.
4. Kev ntxuav Plasma kuj yog qhov tsis muaj qhov tsis zoo tshaj plaws ntawm kev ntxuav ntawm txhua txoj kev ntxuav.Nws tuaj yeem siv dav hauv semiconductor, microelectronics, COG, LCD, LCM thiab LED txheej txheem.
5. Precision tu ua ntej ntim khoom, lub tshuab nqus tsev hluav taws xob, cov khoom sib txuas thiab cov khoom siv hluav taws xob, hnub ci photovoltaic kev lag luam, yas, roj hmab, hlau thiab ceramic nto ntxuav, etching kev kho mob, ashing kev kho mob, nto ua kom lub cev thiab lwm yam kev tshawb fawb txog kev ua neej.
Post lub sij hawm: Nov-07-2022