Basic theory of magnetic filtration device
Cov txheej txheem lim dej ntawm cov khoom siv sib nqus lim rau cov khoom loj hauv cov kab plasma yog raws li hauv qab no:
Siv qhov sib txawv ntawm cov plasma thiab cov khoom loj hauv tus nqi thiab tus nqi-rau-qhov sib piv, muaj "barrier" (xws li ib lub baffle los yog ib lub phab ntsa nkhaus) tso ntawm lub substrate thiab cathode nto, uas thaiv cov khoom txav mus rau hauv ib qho chaw. txoj kab ncaj nraim ntawm lub cathode thiab substrate, thaum cov ions tuaj yeem deflected los ntawm magnetic teb thiab dhau los ntawm "barrier" mus rau lub substrate.
Ua hauj lwm hauv paus ntsiab lus ntawm magnetic filtration device
Nyob rau hauv lub magnetic teb, Pe<
Pe thiab Pi yog Larmor radii ntawm electrons thiab ions feem, thiab ib tug yog lub puab kab ntawm lub magnetic lim.Cov electrons nyob rau hauv lub plasma yog cuam tshuam los ntawm lub zog Lorentz thiab tig raws lub magnetic teb axially, thaum lub magnetic teb tsis tshua muaj kev cuam tshuam rau cov ions 'clustering vim qhov txawv ntawm cov ions thiab electrons nyob rau hauv lub Larmor vojvoog.Txawm li cas los xij, thaum lub zog hluav taws xob raws li axis ntawm lub tshuab lim hlau nplaum, nws yuav nyiam ions raws axial rau qhov kev sib hloov vim nws qhov kev ua kom pom tseeb thiab lub zog tsis zoo hluav taws xob, thiab cov hluav taws xob ceev ntau dua li cov ion, yog li cov electron. tas li rub lub ion mus rau pem hauv ntej, thaum lub plasma ib txwm nyob twj ywm quasi-hluav taws xob nruab nrab.Cov khoom loj yog cov hluav taws xob nruab nrab lossis me ntsis tsis zoo them, thiab qhov zoo yog ntau dua li cov ions thiab cov hluav taws xob, qhov yooj yim tsis cuam tshuam los ntawm cov hlau nplaum thiab cov kab tawm ntawm cov inertia, thiab yuav raug lim tawm tom qab sib tsoo nrog cov phab ntsa sab hauv. ntaus ntawv.
Raws li kev sib koom ua ke ntawm kev khoov magnetic teb curvature thiab gradient drift thiab ion-electron kev sib tsoo, lub plasma tuaj yeem deflected hauv cov khoom siv hlau nplaum.Nyob rau hauv cov qauv theoretical siv niaj hnub no yog cov qauv Morozov flux thiab Davidson rigid rotor qauv, uas muaj cov nram qab no feature: muaj ib tug sib nqus teb uas ua rau cov electrons txav nyob rau hauv ib tug nruj helical yam.
Lub zog ntawm magnetic teb coj lub axial motion ntawm lub plasma nyob rau hauv lub magnetic filtration ntaus ntawv yuav tsum yog xws li:
Mi, Vo, thiab Z yog cov ion huab hwm coj, kev thauj mus los, thiab tus lej ntawm cov nqi nqa raws.a yog lub puab lub cheeb ntawm lub magnetic filter, thiab e yog tus nqi hluav taws xob.
Nws yuav tsum raug sau tseg tias qee lub zog ntau dua ions tsis tuaj yeem ua tiav los ntawm cov kab hluav taws xob.Lawv tuaj yeem ncav cuag cov phab ntsa sab hauv ntawm cov hlau nplaum, ua rau cov phab ntsa sab hauv ntawm qhov muaj peev xwm zoo, uas nyob rau hauv lem inhibits cov ions txuas ntxiv mus txog rau sab hauv phab ntsa thiab txo cov ntshav plasma.
Raws li qhov tshwm sim no, qhov tsim nyog qhov kev xav tsis zoo siab tuaj yeem siv rau ntawm phab ntsa ntawm lub tshuab lim hlau nplaum los tiv thaiv kev sib tsoo ntawm ions los txhim kho lub hom phiaj ion thauj khoom.
Classification ntawm magnetic filtration device
(1) Linear qauv.Cov hlau nplaum ua raws li cov lus qhia rau cov ion beam ntws, txo qhov loj ntawm cathode qhov chaw thiab qhov kev faib ua feem ntawm macroscopic particle pawg, thaum ua kom muaj kev sib tsoo hauv cov ntshav, ua rau kev hloov pauv ntawm cov khoom nruab nrab rau hauv ions thiab txo cov macroscopic. particle pawg, thiab sai txo tus naj npawb ntawm cov khoom loj raws li qhov sib nqus lub zog nce.Piv nrog rau cov pa multi-arc ion txheej txheej txheem, cov cuab yeej tsim no kov yeej qhov kev txo qis hauv kev ua tau zoo los ntawm lwm txoj hauv kev thiab tuaj yeem ua kom ntseeg tau qhov tseem ceeb ntawm cov yeeb yaj kiab tso tawm tas li thaum txo cov khoom loj ntawm li 60%.
(2) Curve-type structure.Txawm hais tias tus qauv muaj ntau hom, tab sis lub hauv paus ntsiab lus yog tib yam.Lub plasma txav nyob rau hauv kev ua ke ntawm magnetic teb thiab hluav taws xob teb, thiab lub magnetic teb yog siv los kaw thiab tswj cov plasma yam tsis deflecting motion raws cov kev taw qhia ntawm magnetic force kab.Thiab cov khoom uas tsis muaj nqi yuav txav mus raws li cov kab thiab sib cais.Cov yeeb yaj kiab npaj los ntawm cov cuab yeej siv no muaj qhov nyuaj siab, tsis tshua muaj qhov roughness, zoo ntom ntom, zoo li grain loj, thiab muaj zog zaj duab xis puag adhesion.XPS tsom xam qhia tau hais tias lub hardness saum npoo ntawm ta-C films coated nrog hom ntawm cov cuab yeej no tuaj yeem ncav cuag 56 GPa, yog li cov khoom siv nkhaus yog qhov siv dav tshaj plaws thiab siv tau zoo rau kev tshem tawm cov khoom loj, tab sis lub hom phiaj ion thauj khoom yuav tsum tau ua. txhim kho ntxiv.Lub 90 ° khoov sib nqus pom cov cuab yeej yog ib qho ntawm cov khoom siv dav siv ntau tshaj plaws.Kev sim ntawm qhov profile ntawm Ta-C zaj duab xis qhia tau tias qhov profile ntawm 360 ° khoov hlau nplaum pom tsis hloov ntau npaum li cas piv nrog 90 ° khoov sib nqus pom cov cuab yeej, yog li cov nyhuv ntawm 90 ° khoov sib nqus pom rau cov khoom loj tuaj yeem ua tau. ua tiav.90 ° khoov magnetic filtration ntaus ntawv feem ntau muaj ob hom qauv: ib qho yog khoov solenoid muab tso rau hauv lub tshuab nqus tsev chamber, thiab lwm yam yog muab tso rau ntawm lub tshuab nqus tsev chamber, thiab qhov sib txawv ntawm lawv tsuas yog nyob rau hauv cov qauv.Kev ua hauj lwm siab ntawm 90 ° khoov hlau nplaum filtration ntaus ntawv yog nyob rau hauv qhov kev txiav txim ntawm 10-2Pa, thiab nws yuav siv tau nyob rau hauv ntau yam kev siv, xws li txheej nitride, oxide, amorphous carbon, semiconductor zaj duab xis thiab hlau los yog non-metal films. .
Lub efficiency ntawm magnetic filtration ntaus ntawv
Txij li tsis yog tag nrho cov khoom loj tuaj yeem poob lub zog kinetic hauv kev sib tsoo tas li nrog cov phab ntsa, qee qhov loj me me yuav ncav cuag lub substrate los ntawm cov yeeb nkab qhov hluav taws xob.Yog li ntawd, ib tug ntev thiab nqaim magnetic filtration ntaus ntawv muaj ib tug ntau dua filtration efficiency ntawm loj hais, tab sis nyob rau hauv lub sij hawm no nws yuav ua rau kom poob ntawm lub hom phiaj ions thiab nyob rau tib lub sij hawm nce lub complexity ntawm cov qauv.Yog li ntawd, kom ntseeg tau tias cov khoom siv sib nqus pom tau zoo heev tshem tawm cov khoom loj thiab kev ua haujlwm siab ntawm ion thauj khoom yog qhov tsim nyog yuav tsum tau ua ua ntej rau ntau lub arc ion txheej tshuab kom muaj kev thov dav dav hauv kev tso cov yeeb yaj kiab ua haujlwm siab.Kev ua haujlwm ntawm cov cuab yeej sib nqus pom yog cuam tshuam los ntawm lub zog sib nqus, khoov kev tsis ncaj ncees, kev siv tshuab baffle aperture, arc qhov tam sim no thiab them qhov xwm txheej ntawm lub kaum ntse ntse.Los ntawm kev teeb tsa qhov tsis zoo ntawm cov cuab yeej sib nqus pom, cov nyhuv lim dej ntawm cov khoom loj thiab cov ion hloov pauv ntawm lub hom phiaj tuaj yeem txhim kho tau zoo.
Post lub sij hawm: Nov-08-2022