GX600

Oprema usvaja okomitu strukturu prednjih vrata i raspored klastera.Može biti opremljen izvorima isparavanja za metale i razne organske materijale, te može isparavati silicijske pločice različitih specifikacija.Opremljen sustavom preciznog poravnanja, premaz je stabilan i ima dobru ponovljivost.
Oprema za premazivanje GX600 može točno, ravnomjerno i kontrolirano ispariti organske materijale koji emitiraju svjetlost ili metalne materijale na podlogu.Ima prednosti jednostavnog oblikovanja filma, visoke čistoće i visoke kompaktnosti.Potpuno automatski sustav praćenja debljine filma u stvarnom vremenu može osigurati ponovljivost i stabilnost procesa.Opremljen je funkcijom samootapanja kako bi se smanjila ovisnost o vještinama operatera.
Oprema se može primijeniti na Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti i druge metalne materijale, a može se obložiti metalnim filmom, dielektričnim slojem, IMD filmom, itd. uglavnom se koristi u poluvodiču industrije, kao što su uređaji za napajanje, premazivanje supstrata stražnje pakiranja poluvodiča itd.