HFCVD0606

Komora za vakuumsko oblaganje opreme za kemijsko taloženje iz pare ima neovisnu dvoslojnu strukturu vodenog hlađenja, koja je učinkovita i ujednačena u hlađenju, te ima sigurnu i stabilnu strukturu.Oprema je dizajnirana s dvostrukim vratima, višestrukim prozorima za promatranje i višestrukim sučeljima za proširenje, što je pogodno za vanjsko povezivanje pomoćnih periferija kao što su infracrveno mjerenje temperature, spektralna analiza, videonadzor i termopar.Napredni koncept dizajna čini svakodnevni remont i održavanje, promjenu konfiguracije i nadogradnju opreme lakim i jednostavnim te učinkovito smanjuje troškove korištenja i nadogradnje.

Značajke opreme:

1. Komponente opreme za napuhavanje uglavnom uključuju mjerač masenog protoka, solenoidni ventil i spremnik za miješanje plina, koji osiguravaju točnu kontrolu protoka procesnog plina, ravnomjerno miješanje i sigurnu izolaciju različitih plinova i mogu odabrati komponente plinskog sustava za korištenje izvor tekućeg plina, olakšavaju personalizirani odabir širokog spektra izvora tekućeg ugljika i sigurnu upotrebu sintetičkih vodljivih izvora dijamanta i elektroda tekućeg bora.
2. Sklop za ekstrakciju zraka opremljen je tihom i učinkovitom vakuumskom pumpom s rotirajućim lopaticama i sustavom turbo molekularne pumpe koji može brzo zadovoljiti pozadinsko okruženje visokog vakuuma.Za mjerenje vakuuma koristi se kompozitni vakuum mjerač s otpornikom i ionizacijskim mjeračem, kao i kapacitivni filmski sustav mjerača koji može mjeriti tlakove različitih procesnih plinova u širokom rasponu.Tlak taloženja je potpuno automatski kontroliran proporcionalnim kontrolnim ventilom visoke preciznosti.
3. Komponenta vode za hlađenje opremljena je višekanalnim mjerenjem pritiska vode, protoka, temperature i softverskog automatskog nadzora.Različite rashladne komponente neovisne su jedna o drugoj, što je pogodno za brzu dijagnostiku kvarova.Sve grane imaju neovisne prekidače ventila, što je sigurno i učinkovito.
4. Električne upravljačke komponente usvajaju veliki LCD zaslon sučelja čovjek-stroj i surađuju s potpuno automatskim upravljanjem PLC-a kako bi se olakšalo uređivanje i uvoz formule procesa.Grafička krivulja vizualno prikazuje promjene i vrijednosti različitih parametara, a parametri opreme i procesa automatski se bilježe i arhiviraju kako bi se olakšalo praćenje problema i statistička analiza podataka.
5. Stalak za izratka opremljen je servo motorom za kontrolu podizanja i spuštanja stola za podloge.Može se odabrati stol za supstrat od grafita ili crvenog bakra.Temperatura se mjeri termoelementom.
6. Komponente stalka mogu se dizajnirati kao cjelina ili zasebno u skladu sa zahtjevima kupaca kako bi se zadovoljili posebni zahtjevi kupaca za rukovanje.
7. Komponente brtvene ploče su lijepe i elegantne.Brtvene ploče u različitim funkcionalnim područjima modula opreme mogu se brzo rastaviti ili otvarati i zatvarati neovisno, što je vrlo zgodno za korištenje.

CVD oprema s vrućim filamentom prikladna je za taloženje dijamantnih materijala, uključujući premaz tankog filma, samonosivi debeli film, mikrokristalni i nanokristalni dijamant, vodljivi dijamant itd. Uglavnom se koristi za zaštitni premaz otporan na habanje alata za rezanje od cementnog karbida, poluvodičkih materijala kao što je silicij i silicijev karbid, premaz za raspršivanje topline uređaja, vodljiva dijamantna elektroda dopirana borom, dezinfekcija ozonom elektrolitičke vode ili obrada otpadnih voda.