1) Cilindrične mete imaju veću stopu iskorištenja od ravnih meta.U procesu presvlačenja, bilo da se radi o rotacijskom magnetskom tipu ili cilindričnoj meti za raspršivanje tipa rotacijske cijevi, svi dijelovi površine ciljne cijevi kontinuirano prolaze kroz područje raspršivanja koje se stvara ispred trajnog magneta za primanje katodnog raspršivanja, a cilj se može ravnomjerno raspršiti ugraviran, a stopa iskorištenja cilja je visoka.Stopa iskorištenja ciljnih materijala je oko 80%~90%.
2) Cilindrične mete neće lako proizvesti "otrovanje mete".Tijekom procesa presvlačenja, površina ciljne cijevi uvijek je prskana i urezana ionima, te nije lako akumulirati debele okside i druge izolacijske filmove na površini, a nije lako proizvesti "otrovanje cilja".
3) Struktura cilindrične mete za raspršivanje tipa rotacijske cijevi je jednostavna i laka za instalaciju.
4) Materijal cilindrične ciljne cijevi ima različite vrste.planarna meta s metalnom metom izravno hlađenje vodom, a neke se ne mogu obraditi i formirati cilindrične mete, kao što je In2-SnO2 meta, itd. s praškastim materijalom za vruće izostatičko prešanje za dobivanje pločastih meta, jer se veličina ne može napraviti velika i lomljiva, pa je potrebno koristiti metodu tvrdog lemljenja i bakrenu stražnju ploču za integraciju, a zatim instalaciju na ciljnu bazu.Osim na metalne cijevi, na površinu cijevi od nehrđajućeg čelika moguće je prskati i stupčaste mete raznim materijalima koje je potrebno premazati, poput Si, Cr itd.
Trenutačno raste udio cilindričnih meta za premazivanje u industrijskoj proizvodnji.Cilindrične mete ne koriste se samo za vertikalni stroj za premazivanje, već se također koriste u stroju za premazivanje od role do valjka.U posljednjih nekoliko godina, planarne dvostruke mete postupno su zamijenjene cilindričnim dvostrukim metama.
——Ovaj je članak objavio Guangdong Zhenhua Technology, aproizvođač strojeva za optičko premazivanje.
Vrijeme objave: 11. svibnja 2023