Karakteristike filmova za nanošenje prskanjem

① Dobra upravljivost i ponovljivost debljine filma

Može li se debljina filma kontrolirati na unaprijed određenu vrijednost naziva se mogućnošću kontrole debljine filma.Zahtijevana debljina filma može se ponavljati mnogo puta, što se naziva ponovljivost debljine filma. Budući da se struja pražnjenja i ciljna struja vakuumskog raspršivanja mogu zasebno kontrolirati.Zbog toga se može kontrolirati debljina raspršenog filma, a film unaprijed određene debljine može se pouzdano odložiti.Dodatno, nanošenjem prskanja može se dobiti film jednolike debljine na velikoj površini.

② Jako prianjanje između filma i podloge

Energija raspršenih atoma je 1-2 reda veličine veća od energije isparenih atoma.Pretvorba energije visokoenergetskih raspršenih atoma taloženih na supstrat puno je veća nego kod isparenih atoma, što generira veću toplinu i pojačava adheziju između raspršenih atoma i supstrata.Osim toga, neki raspršeni atomi visoke energije proizvode različite stupnjeve ubrizgavanja, tvoreći pseudodifuzijski sloj na podlozi.Osim toga, supstrat se uvijek čisti i aktivira u području plazme tijekom procesa formiranja filma, čime se uklanjaju raspršeni atomi sa slabom adhezijom, te se pročišćava i aktivira površina supstrata.Stoga, prskani film ima jaku adheziju na podlogu.

③ Može se pripremiti film novog materijala različit od ciljanog

Ako se reaktivni plin uvede tijekom raspršivanja kako bi reagirao s metom, može se dobiti film novog materijala potpuno različit od mete.Na primjer, silicij se koristi kao meta za raspršivanje, a kisik i argon se zajedno stavljaju u vakuumsku komoru.Nakon raspršivanja može se dobiti SiOz izolacijski film.Korištenjem titana kao mete za raspršivanje, dušik i argon se zajedno stavljaju u vakuumsku komoru, a nakon raspršivanja može se dobiti film nalik faznom TiN zlatnom sloju.

④ Visoka čistoća i dobra kvaliteta filma

Budući da u uređaju za pripremu filma za prskanje nema komponente lončića, komponente materijala grijača lončića neće se miješati u sloju filma za prskanje.Nedostaci premaza raspršivanjem su što je brzina stvaranja filma sporija od brzine premaza isparavanjem, temperatura supstrata je viša, lako je pod utjecajem nečistoće, a struktura uređaja je složenija.

Ovaj je članak objavio Guangdong Zhenhua, proizvođačoprema za vakuumsko premazivanje