1. Toplinska CVD tehnologija
Tvrde prevlake su uglavnom metalokeramičke prevlake (TiN i dr.), koje nastaju reakcijom metala u prevlaci i reaktivnim rasplinjavanjem.Isprva se toplinska CVD tehnologija koristila za dobivanje aktivacijske energije kombinirane reakcije toplinskom energijom na visokoj temperaturi od 1000 ℃.Ova temperatura je prikladna samo za taloženje TiN i drugih tvrdih premaza na alate od tvrdog metala.Do sada je još uvijek važna tehnologija nanošenja kompozitnih prevlaka TiN-Al20 na glave alata od cementnog karbida.
2. Ionska prevlaka šuplje katode i ionska prevlaka vruće žice
U 1980-ima, ionska prevlaka šuplje katode i ionska prevlaka vrućom žicom korištene su za nanošenje obloženih alata za rezanje.Obje ove tehnologije ionskog premazivanja su tehnologije ionskog premazivanja s pražnjenjem s električnim lukom, sa stopom ionizacije metala do 20%~40%.
3. Ionska prevlaka katodnog luka
Pojava ionske prevlake s katodnim lukom dovela je do razvoja tehnologije nanošenja tvrdih prevlaka na kalupe.Stopa ionizacije ionske prevlake s katodnim lukom je 60%~90%, što omogućuje velikom broju metalnih iona i iona reakcijskog plina da dođu do površine obratka i dalje održavaju visoku aktivnost, što rezultira reakcijskim taloženjem i stvaranjem tvrdih prevlaka kao što su Kositar.Trenutno se tehnologija katodnog luka ionskog premazivanja uglavnom koristi za nanošenje tvrdih premaza na kalupe.
Izvor katodnog luka je izvor isparavanja u čvrstom stanju bez fiksnog bazena rastaljene tvari, a položaj izvora luka može se proizvoljno postaviti, poboljšavajući stopu iskorištenja prostora u prostoriji za nanošenje premaza i povećavajući kapacitet punjenja peći.Oblici izvora katodnog luka uključuju male kružne izvore katodnog luka, izvore stupastog luka i pravokutne ravne izvore velikog luka.Različite komponente malih lučnih izvora, kolumnarnih izvora luka i izvora velikog luka mogu se zasebno rasporediti za odlaganje višeslojnih filmova i nano višeslojnih filmova.U međuvremenu, zbog visoke stope ionizacije metala ionske prevlake s katodnim lukom, metalni ioni mogu apsorbirati više reakcijskih plinova, što rezultira širokim rasponom procesa i jednostavnim radom za dobivanje izvrsnih tvrdih prevlaka.Međutim, postoje grube kapljice u mikrostrukturi sloja prevlake dobivenog ionskim oblaganjem katodnim lukom.Posljednjih godina pojavile su se mnoge nove tehnologije za pročišćavanje strukture sloja filma, što je poboljšalo kvalitetu filma za oblaganje ionskim lukom.
——Ovaj je članak objavio Guangdong Zhenhua Technology, aproizvođač strojeva za optičko premazivanje.
Vrijeme objave: 28. travnja 2023