Proces prevlačenja šuplje katode ionima je sljedeći:
1、Stavite Chin ingote u kolaps.
2、Montaža obratka.
3、Nakon evakuacije do 5×10-3Pa, plin argon se uvodi u komoru za oblaganje iz srebrne cijevi, a razina vakuuma je oko 100Pa.
4、Uključite prednaponsko napajanje.
5、Nakon uključivanja struje luka za paljenje pražnjenja šuplje katode. Užareno pražnjenje se stvara u gumbastoj cijevi, napon pražnjenja je 800~1000V, struja podizanja luka je 30~50A. Zbog efekta sjaja šuplje katode pražnjenje, Visoka gustoća struje tinjajućeg pražnjenja, Visoka gustoća štakorskih iona u srebrnoj cijevi bombardira stijenku vantage cijevi, Čini da se stijenka cijevi brzo zagrije do emisije protoka elektrona, način pražnjenja iz tinjajućeg pražnjenja nagle promjene u lučno pražnjenje, napon je 40 ~ 70 V, struja je 80 ~ 300 A. Temperatura srebrne cijevi doseže iznad 2300 K, žarulja, emitira visoku gustoću struje elektrona luka iz cijevi i puca na anodu.
6、Podešavanje razine vakuuma. Razina vakuuma za tinjajuće pražnjenje iz pištolja sa šupljom katodom je oko 100 Pa, a vakuumski stupanj premaza je 8×10-1~2Pa. Stoga, nakon paljenja lučnog pražnjenja, smanjite dolazni argon plina što je prije moguće, podesite razinu vakuuma na raspon prikladan za premazivanje.
7、Osnovni sloj presvučen titanom. Tok elektrona na anodno sklopljeni Chin metalni ingot, Pretvorba kinetičke energije u toplinsku energiju, Isparavanje Chin metala zagrijavanjem, Atomi pare dopiru do obradaka i formiraju titanski film.
8、Taloženje TiN. Plinoviti dušik dovodi se u komoru za oblaganje, plinoviti dušik i ispareni atomi ioniziraju se u ione dušika i titana. Iznad lončića, veća je vjerojatnost neelastičnog sudara atoma pare titana s gustim strujama elektrona niske energije, Stopa disocijacije metala je čak 20% ~ 40%., Vjerojatnije je da će ioni titana kemijski reagirati s dušikom iz reakcijskog plina, Taloženje kako bi se dobio sloj filma omotača nitrida. Pištolj sa šupljom katodom je i izvor isparavanja, Drugi izvor ionizacije. Tijekom premazivanja, Struja elektromagnetske zavojnice oko lončića također treba biti podešena, Fokusirajte snop elektrona u središte kolapsa, Na taj način se povećava gustoća snage protoka elektrona.
9、Isključivanje. Nakon što debljina filma dosegne unaprijed određenu debljinu filma, isključite napajanje električnog luka、Bias napajanje i dovod zraka.
Vrijeme objave: 8. srpnja 2023