Što je otporni premaz izvora isparavanja?

Otporni premaz izvora isparavanja osnovna je metoda premazivanja vakuumskim isparavanjem."Isparavanje" se odnosi na metodu pripreme tankog filma u kojoj se materijal za oblaganje u vakuumskoj komori zagrijava i isparava, tako da atomi ili molekule materijala ispare i pobjegnu s površine, stvarajući fenomen protoka pare, koji pada na površinu supstrat ili supstrat, te se na kraju kondenzira u čvrsti film.

Takozvana metoda otpornog premaza izvora isparavanja sastoji se u korištenju tantala, molibdena, volframa i drugih metala s visokim talištem kako bi se napravio odgovarajući oblik izvora isparavanja, koji je napunjen materijalima koje treba ispariti, pustiti da zrak struji, izravno zagrijati i ispariti isparene materijale ili staviti materijale za isparavanje u aluminijev oksid, berilijev oksid i druge posude za neizravno zagrijavanje i isparavanje.Ovo je metoda isparavanja otpornim zagrijavanjem.

Thestroj za nanošenje premaza vakuumskim isparavanjemgrijan i isparen otpornim grijačem ima prednosti jednostavne strukture, niske cijene i pouzdane upotrebe.Može se koristiti za premazivanje isparavanjem materijala s niskim talištem, posebno za masovnu proizvodnju s niskim zahtjevima za kvalitetu premaza.Do sada postoji veliki broj postupaka premazivanja otpornim zagrijavanjem i isparavanjem koji se koriste u proizvodnji aluminiziranih ogledala.

Nedostaci metode otpornog premaza izvora isparavanja su ograničena maksimalna temperatura koja se može postići zagrijavanjem, a vijek trajanja grijača je također kratak.Posljednjih godina, kako bi se produžio životni vijek otpornog izvora isparavanja, tvornica opreme usvojila je vodljivi keramički materijal sintetiziran borovim nitridom s dugim vijekom trajanja kao izvor isparavanja.Prema japanskom patentnom izvješću, može koristiti materijale koji se sastoje od 20% ~ 30% borovog nitrida i vatrostalne materijale koji se mogu stopiti s njim kako bi se napravio izvor isparavanja (lonac), te obložiti njegovu površinu slojem cirkonija koji sadrži 62% ~82%, a ostatak su materijali od legure cirkonija i silicija.