Ionski premazmašina potječu iz teorije koju je predložio DM Mattox 1960-ih, a odgovarajući eksperimenti su započeli u to vrijeme;Sve do 1971. Chambers i drugi objavili su tehnologiju ionske ploče elektronskom zrakom;Tehnologija plastificiranja reaktivnim isparavanjem (ARE) istaknuta je u Bunshahovom izvješću 1972. godine, kada su proizvedene vrste supertvrdih filmova kao što su TiC i TiN;Također 1972. Smith i Molley usvojili su tehnologiju šuplje katode u procesu presvlačenja.Do 1980-ih, ionska oplata u Kini konačno je dosegla razinu industrijske primjene, a procesi nanošenja premaza kao što su vakuumska višelučna ionska oplata i ionska oplata s lučnim pražnjenjem pojavili su se sukcesivno.
Cijeli radni proces vakuumske ionske ploče je sljedeći: prvo,pumpavakuumsku komoru, a zatimčekatitlak vakuuma na 4X10 ⁻ ³ Paili bolje, potrebno je spojiti visokonaponsko napajanje i izgraditi niskotemperaturno područje plazme niskonaponskog plina za pražnjenje između supstrata i isparivača.Spojite supstratnu elektrodu s 5000 V DC negativnim visokim naponom kako biste formirali tinjajuće pražnjenje katode.Ioni inertnog plina stvaraju se blizu područja negativnog sjaja.Oni ulaze u tamno područje katode, ubrzani su električnim poljem i bombardiraju površinu supstrata.Ovo je proces čišćenja, a zatim ulazi u proces premazivanja.Učinkom zagrijavanja bombardiranjem, neki materijali za oplatu su ispareni.Područje plazme ulazi u protone, sudara se s elektronima i ionima inertnog plina, a mali dio njih je ioniziran. Ti ionizirani ioni s visokom energijom bombardirat će površinu filma i donekle poboljšati kvalitetu filma.
Načelo vakuumske ionske ploče je: u vakuumskoj komori, korištenjem fenomena plinskog pražnjenja ili ioniziranog dijela isparenog materijala, pod bombardiranjem iona isparenog materijala ili plinskih iona, istovremeno taložiti te isparene tvari ili njihove reaktante na podlogu. da se dobije tanki film.Ionski premazmašinakombinira vakuumsko isparavanje, plazma tehnologiju i plinsko tinjajuće pražnjenje, što ne samo da poboljšava kvalitetu filma, već i proširuje raspon primjene filma.Prednosti ovog procesa su jaka difrakcija, dobro prianjanje filma i različiti materijali za premazivanje.Princip ionske presvlake prvi je predložio DM Mattox.Postoje mnoge vrste ionske presvlake.Najčešći tip je grijanje isparavanjem, uključujući grijanje otporom, grijanje elektronskim snopom, plazma grijanje elektronskim snopom, visokofrekventno indukcijsko grijanje i druge metode zagrijavanja.
Vrijeme objave: 14. veljače 2023