Ova serija opreme koristi magnetronske mete za pretvaranje materijala za premazivanje u čestice nanometarske veličine, koje se talože na površini supstrata i tvore tanke filmove.Smotani film stavlja se u vakuumsku komoru.Kroz strukturu namotavanja na električni pogon, jedan kraj prima film, a drugi stavlja film.Nastavlja prolaziti kroz ciljno područje i prima ciljne čestice kako bi stvorio gusti film.
Karakteristika:
1. Stvaranje filma pri niskim temperaturama.Temperatura ima mali učinak na film i neće izazvati deformacije.Pogodan je za PET, PI i druge folije u zavojnicama od osnovnog materijala.
2. Debljina filma može se dizajnirati.Tanke ili debele prevlake mogu se oblikovati i nanositi prilagodbom procesa.
3. Dizajn više ciljnih lokacija, fleksibilan proces.Cijeli stroj može biti opremljen s osam meta, koje se mogu koristiti ili kao jednostavne metalne mete ili kao složene i oksidne mete.Može se koristiti za pripremu jednoslojnih filmova s jednom strukturom ili višeslojnih filmova s kompozitnom strukturom.Proces je vrlo fleksibilan.
Oprema može pripremiti elektromagnetsku zaštitnu foliju, fleksibilni premaz na ploči, razne dielektrične folije, višeslojni AR antirefleksni film, HR visoki antirefleksni film, film u boji, itd. oprema ima vrlo širok raspon primjena i jednoslojno taloženje filma može se dovršiti jednokratnim taloženjem filma.
Oprema može usvojiti jednostavne metalne mete kao što su Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl itd., ili složene mete kao što su SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO itd.
Oprema je male veličine, kompaktne konstrukcije, male površine, niske potrošnje energije i fleksibilne prilagodbe.Vrlo je prikladan za istraživanje i razvoj procesa ili masovnu proizvodnju malih serija.