Tehnologija taloženja potpomognuta ionskom zrakom

Zapravo, tehnologija taloženja potpomognuta ionskom zrakom je kompozitna tehnologija.To je tehnika obrade kompozitnih površinskih iona koja kombinira tehnologiju ionske implantacije i filma za fizičko taloženje parom, te novu vrstu tehnike optimizacije površine ionskim snopom.Uz prednosti fizičkog taloženja parom, ovom se tehnikom može kontinuirano razvijati film bilo koje debljine pod strožim uvjetima kontrole, značajno poboljšati kristalnost i orijentaciju sloja filma, povećati snagu prianjanja sloja filma/supstrata, poboljšati gustoću sloja filma i sintetizirati složene filmove s idealnim stehiometrijskim omjerima na temperaturi blizu sobne, uključujući nove vrste filmova koji se ne mogu dobiti na sobnoj temperaturi i tlaku.Taloženje potpomognuto ionskim snopom ne samo da zadržava prednosti procesa ionske implantacije, već također može prekriti supstrat potpuno drugačijim filmom od supstrata.
U svim vrstama fizičkog taloženja iz pare i kemijskog taloženja iz pare, može se dodati set pomoćnih ionskih topova za bombardiranje kako bi se formirao IBAD sustav, a postoje dva opća IBAD procesa kako slijedi, kao što je prikazano na slici:

Kao što je prikazano na slici (a), izvor isparavanja elektronske zrake koristi se za ozračivanje sloja filma ionskom zrakom emitiranom iz ionskog pištolja, čime se ostvaruje taloženje potpomognuto ionskom zrakom.Prednost je u tome što se energija i smjer ionske zrake mogu prilagoditi, ali samo jedna ili ograničena legura ili spoj može se koristiti kao izvor isparavanja, a svaki tlak pare komponente legure i spoja je različit, što otežava kako bi se dobio sloj filma izvornog sastava izvora isparavanja.
Slika (b) prikazuje taloženje potpomognuto raspršivanjem ionskim snopom, koje je također poznato kao taloženje dvostrukim raspršivanjem ionskim snopom, u kojem se cilj izrađen od materijala za oblaganje raspršivanjem ionskim snopom, proizvodi raspršivanja koriste kao izvor.Tijekom taloženja na podlogu, taloženje potpomognuto raspršivanjem ionske zrake postiže se ozračivanjem drugim izvorom iona.Prednost ove metode je što same raspršene čestice imaju određenu energiju, pa je bolje prianjanje na podlogu;bilo koja komponenta mete može biti raspršena, ali također može biti reakcijsko raspršivanje u film, lako se podešava sastav filma, ali njegova učinkovitost taloženja je niska, meta je skupa i postoje problemi kao što je selektivno raspršivanje.