Ekipman an adopte estrikti pòt devan vètikal ak layout gwoup.Li ka ekipe ak sous evaporasyon pou metal ak divès kalite materyèl òganik, epi li ka evapore gauf Silisyòm nan espesifikasyon divès kalite.Ekipe ak sistèm aliyman presizyon, kouch la se ki estab ak kouch la gen bon repete.
Ekipman kouch GX600 ka avèk presizyon, respire ak kontwole evapore materyèl òganik ki emèt limyè oswa materyèl metal sou substra a.Li gen avantaj ki genyen nan fòmasyon fim senp, pite segondè ak konpakte segondè.Full-otomatik epesè fim nan sistèm siveyans an tan reyèl ka asire repetibilite a ak estabilite nan pwosesis la.Li ekipe ak fonksyon pwòp tèt ou k ap fonn pou diminye depandans sou konpetans operatè a.
Ekipman an ka aplike nan Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti ak lòt materyèl metal, epi yo ka kouvwi ak fim metal, fim kouch dyelèktrik, fim IMD, elatriye li se sitou itilize nan semi-conducteurs la. endistri, tankou aparèy pouvwa, semi-conducteurs dèyè anbalaj substra kouch, elatriye.
GX600 | GX900 |
φ600 * 800 (mm) | φ900 * H1050 (mm) |