Karakteristik nan fim kouch sputtering

① Bon kontwòl ak repetibilite nan epesè fim

Kit epesè fim nan ka kontwole nan yon valè Predetermined yo rele kontwòl epesè fim.Epesè fim ki nesesè yo ka repete pou anpil fwa, ki rele repetibilite fim epesè.Paske aktyèl la egzeyat ak aktyèl sib nan kouch vakyòm sputtering ka kontwole separeman.Se poutèt sa, epesè nan fim sputtered se kontwole, epi fim nan ak epesè Predetermined ka depoze seryezman.Anplis de sa, kouch la sputter ka jwenn yon fim ak epesè inifòm sou yon gwo sifas.

② Adhesion fò ant fim ak substra

Enèji nan atòm sputtered se 1-2 lòd nan grandè pi wo pase sa yo ki nan atòm evapore.Konvèsyon enèji nan gwo enèji atòm sputtered yo depoze sou substra a se pi wo pase sa yo ki nan atòm yo evapore, ki jenere pi wo chalè ak amelyore Adhesion ki genyen ant atòm yo sputtered ak substra a.Anplis de sa, kèk atòm sputtered wo-enèji pwodui diferan degre nan piki, fòme yon kouch pseudodiffusion sou substra a.Anplis de sa, substra a toujou netwaye ak aktive nan rejyon an plasma pandan pwosesis la fòme fim, ki retire atòm yo sputtering ak adezyon fèb, ak pirifye ak aktive sifas la substra.Se poutèt sa, fim nan sputtered gen adezyon fò nan substra a.

③ Nouvo fim materyèl diferan de sib ka prepare

Si gaz reyaktif prezante pandan sputtering pou fè li reyaji ak sib la, yo ka jwenn yon nouvo fim materyèl konplètman diferan de sib la.Pou egzanp, silikon yo itilize kòm sib la sputtering, ak oksijèn ak agon yo mete nan chanm vakyòm nan ansanm.Apre sputtering, fim posibilite SiOz ka jwenn.Sèvi ak Titàn kòm sib la sputtering, nitwojèn ak agon yo mete nan chanm vakyòm lan ansanm, epi yo ka jwenn fim nan faz TiN ki sanble ak lò apre sputtering.

④ Segondè pite ak bon kalite fim

Depi pa gen okenn eleman crucible nan aparèy la preparasyon fim sputtering, eleman yo nan materyèl la chofaj crucible pa pral melanje nan kouch fim nan sputtering.Dezavantaj yo nan kouch sputtering se ke vitès la fòme fim se pi dousman pase sa yo ki nan kouch evaporasyon, tanperati a substra se pi wo, li fasil yo dwe afekte pa gaz enpurte, ak estrikti nan aparèy se pi konplèks.

Atik sa a pibliye pa Guangdong Zhenhua, yon manifakti aekipman kouch vakyòm