1. Pousantaj evaporasyon pral efè sou pwopriyete kouch evapore
Pousantaj evaporasyon an gen yon gwo enfliyans sou fim nan depoze.Paske estrikti nan kouch ki te fòme pa pousantaj depo ki ba se ki lach ak fasil yo pwodwi gwo depo patikil, li trè an sekirite yo chwazi yon pousantaj evaporasyon ki pi wo asire konpak nan estrikti nan kouch.Lè presyon gaz rezidyèl nan chanm vakyòm lan konstan, to bonbadman substra a se yon valè konstan.Se poutèt sa, gaz rezidyèl ki genyen nan fim nan depoze apre yo fin chwazi yon pousantaj depo ki pi wo yo pral redwi, kidonk diminye reyaksyon chimik ant molekil gaz rezidyèl yo ak patikil fim yo evapore.Se poutèt sa, pite fim nan depoze ka amelyore.Li ta dwe remake ke si pousantaj depo a twò vit, li ka ogmante estrès entèn fim nan, li pral ogmante defo nan fim nan, e menm mennen nan rupture nan fim nan.An patikilye, nan pwosesis la nan plak evaporasyon reyaktif, yo nan lòd yo fè gaz la reyaksyon konplètman reyaji ak patikil yo nan materyèl la fim evaporasyon, ou ka chwazi yon pousantaj depo pi ba.Natirèlman, diferan materyèl chwazi diferan pousantaj evaporasyon.Kòm yon egzanp pratik - depo fim nan meditativ, Si epesè fim nan se 600 × 10-8cm ak tan an evaporasyon se 3s, reflektivite a se 93%.Sepandan, si pousantaj evaporasyon an ralanti anba menm kondisyon epesè, li pran 10 minit pou konplete depo fim nan.Nan moman sa a, epesè fim nan se menm bagay la.Sepandan, refleksyon an te tonbe a 68%.
2. Tanperati substrate pral efè sou kouch evaporasyon
Tanperati substra a gen yon gwo enfliyans sou kouch evaporasyon an.Molekil gaz rezidyèl yo adsorbe sou sifas substra a nan tanperati ki wo substra yo fasil pou retire.Espesyalman eliminasyon molekil vapè dlo a pi enpòtan.Anplis, nan tanperati ki pi wo, li pa sèlman fasil ankouraje transfòmasyon soti nan adsorption fizik nan adsorption chimik, kidonk ogmante fòs la obligatwa ant patikil.Anplis, li kapab tou redwi diferans ki genyen ant tanperati rekristalizasyon molekil vapè ak tanperati substra a, kidonk diminye oswa elimine estrès entèn la sou koòdone fim ki baze sou.Anplis de sa, paske tanperati a substrate ki gen rapò ak eta a cristalline nan fim nan, li se souvan fasil yo fòme kouch amorphe oswa mikrokristalin anba kondisyon an nan tanperati ki ba substra oswa pa gen okenn chofaj.Okontrè, lè tanperati a wo, li fasil pou fòme kouch cristalline.Ogmante tanperati a substra se tou fezab amelyore pwopriyete yo mekanik nan kouch la.Natirèlman, tanperati substra a pa ta dwe twò wo pou anpeche evaporasyon kouch la.
3. Presyon gaz rezidyèl nan chanm vakyòm pral efè sou pwopriyete fim
Presyon gaz rezidyèl nan chanm vakyòm lan gen yon gwo enfliyans sou pèfòmans manbràn la.Molekil gaz rezidyèl ak presyon twò wo yo pa sèlman fasil fè kolizyon ak patikil yo evapore, ki pral diminye enèji sinetik moun yo sou substra a epi afekte adezyon fim nan.Anplis de sa, twò wo presyon gaz rezidyèl pral seryezman afekte pite nan fim nan epi redwi pèfòmans nan kouch la.
4. Efè tanperati evaporasyon sou kouch evaporasyon
Se efè a nan tanperati evaporasyon sou pèfòmans manbràn montre pa chanjman nan to evaporasyon ak tanperati.Lè tanperati evaporasyon an wo, chalè vaporizasyon an ap diminye.Si materyèl la manbràn evapore pi wo pase tanperati evaporasyon an, menm yon ti chanjman nan tanperati ka lakòz yon chanjman byen file nan to evaporasyon materyèl la manbràn.Se poutèt sa, li enpòtan anpil pou kontwole tanperati evaporasyon an avèk presizyon pandan depo fim nan pou fè pou evite gwo gradyan tanperati lè sous evaporasyon an chofe.Pou materyèl fim ki fasil pou sublime, li enpòtan tou pou chwazi materyèl tèt li kòm aparèy chofaj pou evaporasyon ak lòt mezi.
5. Netwayaj eta a nan substra ak chanm kouch pral efè sou pèfòmans kouch
Efè a nan pwòpte a nan substra a ak chanm nan kouch sou pèfòmans nan kouch la pa ka inyore.Li pa pral sèlman seryezman afekte pite fim nan depoze, men tou, diminye Adhesion nan fim nan.Se poutèt sa, pirifikasyon nan substra a, tretman an netwaye nan chanm nan kouch vakyòm ak konpozan ki gen rapò li yo (tankou ankadreman an substra) ak degaze sifas la se tout pwosesis endispansab nan pwosesis la vakyòm kouch.
Tan pòs: 28-fevriye-2023