Teknoloji depo a vapè chimik cho ak fil cho améliore sèvi ak zam nan arc fil cho pou emèt plasma arc, abreje kòm teknoloji PECVD cho fil arc.Teknoloji sa a se menm jan ak teknoloji kouvwi iyon zam ak fil cho, men diferans lan se ke fim nan solid ki te jwenn nan kouch iyon fil cho ak zam sèvi ak koule elèktron limyè arc ki emèt pa zam la fil cho chofe ak evapore metal la nan. Creze a, pandan y ap PECVD limyè a cho fil elektrik manje ak gaz reyaksyon, tankou CH4 ak H2, ki itilize pou depoze fim dyaman.Lè w repoze sou gwo dansite ak kouran ki emèt pa zam ak fil cho a, iyon gaz reyaktif yo eksite pou jwenn divès patikil aktif, ki gen ladan iyon gaz, iyon atomik, gwoup aktif, ak sou sa.
Nan aparèy PECVD fil elektrik cho a, de bobin elektwomayetik yo toujou enstale deyò chanm nan kouch, sa ki lakòz koule elèktron wo-dansite wotasyon pandan mouvman an nan direksyon anod la, ogmante pwobabilite pou kolizyon ak ionizasyon ant koule nan elektwon ak gaz reyaksyon an. .Bobin elektwomayetik la kapab tou konvèje nan yon kolòn arc pou ogmante dansite plasma nan chanm depo tout antye.Nan plasma arc, dansite patikil aktif sa yo wo, sa ki fè li pi fasil pou depoze fim dyaman ak lòt kouch fim sou pyès la.
——Atik sa a te pibliye pa Guangdong Zhenhua Technology, amanifakti nan machin kouch optik.
Lè poste: Me-05-2023